[发明专利]一种多弧技术与磁控技术合而为一的香槟金调色技术

权利要求书

1.一种多弧技术与磁控技术合而为一的香槟金调色技术，其特征在于，在基片(1)上层依次通过多弧技术镀Ti多弧打底层(2)，再通过真空磁控溅射的方法依次镀有第一TiN过渡层(3)、第二TiN过渡层(4)，最后使用多弧技术镀TiN多弧颜色层(5)，达到最终稳定的表面涂层颜色，其工艺步骤如下：

①将基片(1)经过CNC、抛光、超声波清洗，使得工件基体表面光滑、清洁，便于膜层的沉积以及最终成品的光亮；

②抽真空：真空抽至8.0×10^-3Pa，刚开始是粗抽，从大气抽至5pa，再用分子泵进行细抽；

③轰击清洗：使用氩离子轰击清洗、钛轰击；

④通过多弧镀Ti多弧打底层(2)：

真空度：通入氩气，真空度保持在2×10^-2pa，脉冲偏压：200V，占空比50%，电弧电流：60-80a，引燃全部弧源，时间2-3min；

⑤通过真空磁控溅射的方法依次镀有第一TiN过渡层(3)、第二TiN过渡层(4)：

通入氮气使真空度保持在(3～5)×10^-1Pa，点钛靶，使钛靶功率为8KW，然后再逐渐加大N₂气体，随着N₂气体量增大，色泽变化；

⑥多弧镀TiN多弧颜色层(5)：

通入氮气使真空度保持在(3～5)×10^-1Pa，然后再通入N₂，生成颜色稳定的香槟金色，电弧电流：50-70A，脉冲偏压：150V，占空比60%，沉积温度：200℃；

⑦冷却：镀膜工序结束后，首先关闭电弧电源、靶电源、偏压电源，然后关闭气源、停转架，工件在真空镀膜室内冷却至80-100℃时，向镀膜室内充大气，取出工件。

2.根据权利要求1所述的一种多弧技术与磁控技术合而为一的香槟金调色技术，其特征在于，所述的步骤①中基片(1)采用不锈钢或硬质合金基片。

3.根据权利要求1所述的一种多弧技术与磁控技术合而为一的香槟金调色技术，其特征在于，所述的步骤②中抽真空粗抽时，烘烤加热至150℃，伴随镀膜室温度的升高，器壁放气会使真空度降低，然后又回升，等到温度回升到6.6×10^-3Pa时方可进行镀膜工作。

4.根据权利要求1所述的一种多弧技术与磁控技术合而为一的香槟金调色技术，其特征在于，所述的步骤③轰击清洗中的氩离子轰击清洗，其真空度：通入99.999%纯度的氩气真空度保持在2-3Pa，轰击电压：800-1000V，轰击时间：10min。

5.根据权利要求1所述的一种多弧技术与磁控技术合而为一的香槟金调色技术，其特征在于，所述的步骤③轰击清洗中的钛轰击，其真空度：通入99.999%纯度的氩气使真空度保持在2×10^-2pa，脉冲偏压：400-500V，占空比20%，电弧电流：60-80A，轮换引燃电弧蒸发源，每个电弧蒸发源引燃1-2min。