[发明专利]一种柔性磁电异质结及其制备方法

权利要求书

1.一种柔性磁电异质结的制备方法，其特征在于，基于一种柔性磁电异质结，柔性钛酸钡铁电层、金属层和钽保护层；柔性钛酸钡铁电层、金属层和钽保护层从下至上依次设置；柔性钛酸钡铁电层包括钛酸锶SrTiO₃衬底、铝酸锶Sr₃Al₂O₆牺牲层和钛酸钡BaTiO₃铁电层；钛酸锶SrTiO₃衬底、铝酸锶Sr₃Al₂O₆牺牲层和钛酸钡BaTiO₃铁电层自下而上依次设置形成柔性钛酸钡铁电层；

钛酸钡BaTiO₃铁电层的厚度为60～200nm；

金属层为金属铁或钴铁硼，其厚度为2～40nm；

铝酸锶Sr₃Al₂O₆牺牲层为立方相，厚度为20～50nm；

保护层的厚度为3nm，包括以下步骤：

步骤1，以铝酸锶为靶材，采用脉冲激光沉积法在钛酸锶衬底的表面上进行第一层沉积，形成铝酸锶牺牲层；

步骤2，以钛酸钡为靶材，采用脉冲激光沉积法在铝酸锶牺牲层的表面上进行第二次沉积，形成钛酸钡铁电层；

步骤3，以金属铁或钴铁硼为靶材，采用磁控溅射法在钛酸钡铁电层的表面上进行第三次沉积，形成金属层；

步骤4，以金属钽为靶材，采用磁控溅射法在金属层的表面上进行第四次沉积，形成保护层，再在金属钽表面涂抹一层光刻胶形成薄膜；

步骤5，把薄膜放在去离子水中浸泡，使铝酸锶牺牲层在室温下被去离子水完全溶解，从而剥离出柔性钛酸钡/金属磁电薄膜；

步骤6，把钛酸钡/金属磁电薄膜转移到硅片、PET或PDMS上，用于物理性能测试。