[发明专利]用于测量液体介电常数的高灵敏度微流体传感器

权利要求书

1.用于测量液体介电常数的高灵敏度微流体传感器，其特征在于从上到下依次包括共面波导微带线、介质层、电磁带隙结构,其中电磁带隙结构由两个通过微带线连接的相同单元结构构成；

电磁带隙结构的单元结构为正方形环形结构，其镂空中心区域内嵌一个较小方形平面板，较小方形平面板与正方形环形结构间留有环形缝隙；在较小方形平面板上下两边刻蚀一个矩形缺口，从该矩形缺口的底部中点引出一条微带线与正方形环形结构内壁连接；

所述共面波导微带线置于介质层上表面，包括分别位于介质层两侧的一个输入端口和一个输出端口，所述两端口用于连接SMA连接头，所述SMA连接头与矢量网络分析仪相连接；

所述共面波导微带线宽度为1.56mm，与两侧地平面的距离为0.8mm；

微流体通道置于电磁带隙结构的下侧，完全覆盖两个电磁带隙单元结构环形缝隙位置，并汇聚于上下两个端口，液体样品在其中一个端口用针孔注入，再从另一端口流出。

2.如权利要求1所述的用于测量液体介电常数的高灵敏度微流体传感器，其特征在于所述微流体通道的高度为0.2mm。

3.如权利要求1所述的用于测量液体介电常数的高灵敏度微流体传感器，其特征在于覆盖在电磁带隙单元结构环形缝隙位置的微流体通道为环形结构，上下两侧两通道宽度为1.8mm，左右两侧通道宽度为2.6mm。

4.如权利要求1所述的用于测量液体介电常数的高灵敏度微流体传感器，其特征在于所述介质层为RogersRO4350材料，其相对介电常数为3.66，介质厚度为0.762mm，损耗角正切值为0.004。

5.如权利要求1所述的用于测量液体介电常数的高灵敏度微流体传感器，其特征在于所述电磁带隙结构单元结构大小为。

6.如权利要求1所述的用于测量液体介电常数的高灵敏度微流体传感器，其特征在于所述电磁带隙结构单元结构间隔6mm。