[发明专利]一种高效蚀刻脱膜装置有效

专利信息
申请号: 201911361395.7 申请日: 2019-12-25
公开(公告)号: CN111155090B 公开(公告)日: 2022-01-11
发明(设计)人: 沈悦 申请(专利权)人: 绍兴华立电子有限公司
主分类号: C23F1/08 分类号: C23F1/08
代理公司: 绍兴越牛专利代理事务所(普通合伙) 33394 代理人: 王剑
地址: 312000 浙江省绍兴市袍*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 高效 蚀刻 装置
【权利要求书】:

1.一种高效蚀刻脱膜装置,包括装置主体(1),其特征在于:所述装置主体(1)的内部底端固定安装有自动油墨渣收集箱(2),所述装置主体(1)的内部顶端固定安装有一号水箱(3),所述一号水箱(3)的顶端固定连接有一号水箱进水口(302),所述一号水箱(3)的内部右侧固定安装有一号水箱出水口(301),所述一号水箱(3)的内部左侧固定安装有隔板(305),所述隔板(305)的底部设置有进出水口(306),所述一号水箱(3)的底部固定安装有一号水箱出水口开关装置(9),所述一号水箱出水口开关装置(9)的内部固定安装有三号转轴底座(901),所述三号转轴底座(901)中部固定安装有三号转轴(902),所述三号转轴(902)铰接有L形传动杆(903),所述L形传动杆(903)的上部固定连接有一号复位弹簧(904),所述一号复位弹簧(904)的另一端固定安装在一号水箱出水口开关装置(9)内壁上端,所述一号水箱出水口开关装置(9)的内部右侧固定安装有一号密封块外壳(905),所述一号密封块外壳(905)的内部底测固定连接有二号复位弹簧(907),所述二号复位弹簧(907)的顶部与一号密封块(906)的底部固定连接,所述L形传动杆(903)的右侧顶端为半弧形结构,所述L形传动杆(903)在一号密封块(906)的正下方且不与一号密封块(906)接触,所述一号水箱(3)的左侧设置有水箱转换装置(5),所述水箱转换装置(5)包括水箱转换装置外壳(501),所述水箱转换装置外壳(501)的内部固定安装有定位管(502),所述水箱转换装置外壳(501)的内部设置有浮块(503),所述浮块(503)的右侧设置有卡槽(504),所述隔板(305)的左侧设置有压力块(505),所述浮块(503)的上端分别固定连接有一号传动绳(6)和二号传动绳(402),所述一号传动绳(6)的另一端通过一号转轴(7)固定连接在二号密封块(802)的右侧上端,所述装置主体(1)的顶部固定安装有二号水箱(4),所述二号水箱(4)的底部左侧固定安装有二号水箱出水口(403),所述二号水箱出水口(403)的中部设置有二号水箱出水口开关装置(8),所述二号水箱(4)的底部右侧设置有Z形管道(401),所述Z形管道(401)内设置有二号传动绳(402 )。

2.根据权利要求1所述的一种高效蚀刻脱膜装置,其特征在于:所述一号水箱进水口(302)的顶端设置有顶盖(303),所述顶盖(303)的左侧通过二号转轴(304)与一号水箱进水口(302)转动连接,所述顶盖(303)的顶端右侧与二号传动绳(402)固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种高效蚀刻脱膜装置,其特征在于:所述浮块(503)的内部有两个圆孔,且定位管(502)通过圆孔与浮块(503)连接。

4.根据权利要求1所述的一种高效蚀刻脱膜装置,其特征在于:所述定位管(502)的高度与二号密封块(802)的长度相同。

5.根据权利要求1所述的一种高效蚀刻脱膜装置,其特征在于:所述压力块(505)的正面中部固定安装有卡扣底座(5051),所述卡扣底座(5051)的内部右侧与四号复位弹簧(5052)的右侧固定连接,所述四号复位弹簧(5052)的左侧与卡扣(5053)固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种高效蚀刻脱膜装置,其特征在于:所述二号水箱出水口开关装置(8)包括二号密封块活动槽(801),所述二号密封块活动槽(801)的底部左侧固定安装有挡位板(804)且挡位板有多个漏水孔,所述二号密封块活动槽(801)的内部设置有二号密封块(802),所述二号密封块(802)的上端左侧固定安装有三号密封块(803),所述二号密封块(802)的右侧底端固定连接有三号复位弹簧(805),且三号复位弹簧(805)的另一端与二号密封块活动槽(801)的内部右侧固定连接。

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