[发明专利]一种镀覆超润滑固体薄膜的齿轮传动装置

权利要求书

1.一种镀覆超润滑固体薄膜的齿轮传动装置，其特征在于，由齿轮传动装置本体和镀覆在齿轮啮合面中一面或双面的a-C:H基超润滑固体薄膜组成；镀膜部件上开有导电用螺纹孔，用于在制备时经由导电螺钉与加工平台的导电区连通。

2.如权利要求1所述的镀覆超润滑固体薄膜的齿轮传动装置，其特征在于，所述齿轮传动装置为直齿齿轮、斜齿齿轮、人字齿轮、圆锥齿轮、戟齿轮、交错轴斜齿轮、齿轮齿条机构或蜗轮蜗杆。

3.如权利要求1所述的镀覆超润滑固体薄膜的齿轮传动装置，其特征在于，所述齿轮传动装置为作为齿轮传动减速装置的谐波减速器，则谐波减速器中，刚轮轮齿表面和/或柔轮轮齿表面镀覆所述a-C:H基超润滑固体薄膜。

4.如权利要求3所述的镀覆超润滑固体薄膜的齿轮传动装置，其特征在于，所述谐波减速器的柔轮内表面镀覆所述a-C:H基超润滑固体薄膜。

5.如权利要求3所述的镀覆超润滑固体薄膜的齿轮传动装置，其特征在于，所述谐波减速器的类型包含单波谐波减速器、双波谐波减速器和三波谐波减速器。

6.如权利要求1所述的镀覆超润滑固体薄膜的齿轮传动装置，其特征在于，所述a-C:H基超润滑固体薄膜的厚度为0.1～10μm。

7.如权利要求6所述的镀覆超润滑固体薄膜的齿轮传动装置，其特征在于，所述a-C:H基超润滑固体薄膜的厚度为1～3μm。

8.如权利要求7所述的镀覆超润滑固体薄膜的齿轮传动装置，其特征在于，所述a-C:H基超润滑固体薄膜的厚度为1.5～2.5μm。

9.如权利要求1所述的镀覆超润滑固体薄膜的齿轮传动装置，其特征在于，所述a-C:H基超润滑固体薄膜中掺杂Ti、Al、Zr、Cr、Cu、Mo、V、Si、Ag中的一种或多种元素；所述a-C:H基超润滑固体薄膜的显微组织结构为非晶、纳米晶或两者复合。

10.如权利要求1所述的镀覆超润滑固体薄膜的齿轮传动装置，其特征在于，所述镀膜部件制备时，使用导电螺钉与导电用螺纹孔相连，并采用导线带将待镀膜部件与工件台连通；通过导电用螺纹孔尺寸、导电螺钉的材料、导线带的材料的设计，使得待镀膜部件至工件台的电阻小于5欧姆。