[发明专利]基于宇称时间对称性的三腔耦合激光器

权利要求书

1.一种基于宇称时间对称性的三腔耦合激光器，自下而上顺次包括：下电极层、N型波导层、有源区、P型波导层、绝缘层和上电极层；所述P型波导层还包括：至少一个损耗腔和多个增益腔，所述增益腔对称设置于所述损耗腔两侧；所述损耗腔和所述增益腔上表面均设置有绝缘层，且最外侧两个所述增益腔的所述绝缘层设置窗口区域；上电极层设置于所述绝缘层上；

分别调控所述损耗腔两侧的增益腔的增益，使增益腔与所述损耗腔耦合。

2.根据权利要求1所述的基于宇称时间对称性的三腔耦合激光器，其中，所述损耗腔和所述增益腔为设置于所述P型波导层的多个脊型波导，多个所述脊型波导相互平行且尺寸相同，相邻两个所述脊型波导的间距相同。

3.根据权利要求2所述的基于宇称时间对称性的三腔耦合激光器，其中，所述脊型波导的个数为三个，三个所述脊型波导顺次作为增益腔、损耗腔和增益腔。

4.根据权利要求1所述的基于宇称时间对称性的三腔耦合激光器，其中，通过电注入分别调控所述损耗腔两侧的所述增益腔的增益；所述电注入为水平调控、横模调控和纵模调控中的任一种。

5.根据权利要求1所述的基于宇称时间对称性的三腔耦合激光器，其中，所述三腔耦合激光器的长度w₀为200μm-5mm；宽度l₀为3μm-500μm。

6.根据权利要求1所述的基于宇称时间对称性的三腔耦合激光器，其中，所述损耗腔和所述增益腔的宽度W为3μm-50μm；长度l为200μm-5mm。

7.根据权利要求1所述的基于宇称时间对称性的三腔耦合激光器，其中，所述损耗腔和所述增益腔的间距d1为50nm-10μm。

8.根据权利要求1所述的基于宇称时间对称性的三腔耦合激光器，其中，相邻所述增益腔的间距d2为50nm-10μm。

9.根据权利要求1所述的基于宇称时间对称性的三腔耦合激光器，其中，所述绝缘层的材料为二氧化硅，所述绝缘层的厚度为100nm-1μm。