[发明专利]一种空间用气体流量控制器流量标定装置在审

专利信息
申请号: 201911363972.6 申请日: 2019-12-26
公开(公告)号: CN111141369A 公开(公告)日: 2020-05-12
发明(设计)人: 胡向宇;李诚;蔺璟;李增科;刘泽 申请(专利权)人: 兰州空间技术物理研究所
主分类号: G01F25/00 分类号: G01F25/00
代理公司: 北京理工大学专利中心 11120 代理人: 温子云;仇蕾安
地址: 730000 甘*** 国省代码: 甘肃;62
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 空间 气体 流量 控制器 标定 装置
【权利要求书】:

1.一种空间用气体流量控制器流量标定装置,其特征在于,包括变容机构及压力控制系统(13);

所述压力控制系统(13)与变容机构密封连接,压力控制系统(13)通过控制变容机构的容积使变容机构内保持设定气压值;所述变容机构与待标定气体流量控制器的进气口密封连接为待标定气体流量控制器输出测试气体,待标定气体流量控制器的出气口保持真空状态;标定前,所述变容机构设置为最大容积,标定过程中变容机构的容积变化量对标定时间的导数即为待标定气体流量控制器的实际流量。

2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述变容机构包括伺服电机(2)、水平移动机构(3)及波纹管变容室(4),所述伺服电机(2)、水平移动机构(3)及波纹管变容室(4)顺序密封连接,所述伺服电机(2)在压力控制系统(13)的控制下推动水平移动机构(3)水平移动使波纹管变容室(4)水平压缩。

3.根据权利要求2所述的装置,其特征在于,所述装置还包括比较器(10)、气压随动装置(11)、压力表A(1)、压力表B(14)及压力平衡舱(12);

所述变容机构密封安装于压力平衡舱(12)内部;所述压力表A(1)用于测量压力平衡舱(12)内的气压;所述压力表B(14)用于测量变容机构内的气压;所述比较器(10)的两个输入端分别与压力表A(1)和压力表B(14)密封连接,所述比较器(10)的输出端与气压随动装置(11)密封连接;所述气压随动装置(11)在比较器(10)的控制下调节压力平衡舱(12)内的气压使其与变容机构内的气压保持一致。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于兰州空间技术物理研究所,未经兰州空间技术物理研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201911363972.6/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top