[发明专利]一种空间用气体流量控制器流量标定装置在审
申请号: | 201911363972.6 | 申请日: | 2019-12-26 |
公开(公告)号: | CN111141369A | 公开(公告)日: | 2020-05-12 |
发明(设计)人: | 胡向宇;李诚;蔺璟;李增科;刘泽 | 申请(专利权)人: | 兰州空间技术物理研究所 |
主分类号: | G01F25/00 | 分类号: | G01F25/00 |
代理公司: | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人: | 温子云;仇蕾安 |
地址: | 730000 甘*** | 国省代码: | 甘肃;62 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 空间 气体 流量 控制器 标定 装置 | ||
1.一种空间用气体流量控制器流量标定装置,其特征在于,包括变容机构及压力控制系统(13);
所述压力控制系统(13)与变容机构密封连接,压力控制系统(13)通过控制变容机构的容积使变容机构内保持设定气压值;所述变容机构与待标定气体流量控制器的进气口密封连接为待标定气体流量控制器输出测试气体,待标定气体流量控制器的出气口保持真空状态;标定前,所述变容机构设置为最大容积,标定过程中变容机构的容积变化量对标定时间的导数即为待标定气体流量控制器的实际流量。
2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述变容机构包括伺服电机(2)、水平移动机构(3)及波纹管变容室(4),所述伺服电机(2)、水平移动机构(3)及波纹管变容室(4)顺序密封连接,所述伺服电机(2)在压力控制系统(13)的控制下推动水平移动机构(3)水平移动使波纹管变容室(4)水平压缩。
3.根据权利要求2所述的装置,其特征在于,所述装置还包括比较器(10)、气压随动装置(11)、压力表A(1)、压力表B(14)及压力平衡舱(12);
所述变容机构密封安装于压力平衡舱(12)内部;所述压力表A(1)用于测量压力平衡舱(12)内的气压;所述压力表B(14)用于测量变容机构内的气压;所述比较器(10)的两个输入端分别与压力表A(1)和压力表B(14)密封连接,所述比较器(10)的输出端与气压随动装置(11)密封连接;所述气压随动装置(11)在比较器(10)的控制下调节压力平衡舱(12)内的气压使其与变容机构内的气压保持一致。
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