[发明专利]一种从四氟化碳生产工业废气中回收提纯电子级六氟乙烷的生产方法

说明书

本发明的一种从四氟化碳生产工业废气中回收提纯电子级六氟乙烷的生产方法，属于六氟乙烷生产领域；包括以下步骤：热分解提纯装置，微氧吸附再生装置；经过精密过滤后，进入分馏装置，分馏装置产生四氟化碳气体的返回四氟化碳生产线中，以提高了四氟化碳回收率；含有少量杂质的六氟乙烷依次经过汽化器汽化后进入缓冲罐；并使用隔膜式压缩机增压使缓冲罐中的六氟乙烷进入带压运行的吸附塔；再经过预冷器预冷后依次通过高沸精馏塔和低沸精馏塔去除杂质。提高了四氟化碳回收率；并达到电子级六氟乙烷的技术要求；生产出的电子级六氟乙烷不含有会对臭氧层造成破坏的氯元素；可减少温室气体排放，可实现工业废气资源化利用和节能减排。

技术领域

本发明涉及六氟乙烷生产领域，更具体的，涉及一种从四氟化碳生产工业废气中回收提纯电子级六氟乙烷的生产方法。

背景技术

在现今社会，超大规模集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业蓬勃发展，而被广泛应用于薄膜、蚀刻、掺杂、气相沉积、扩散、清洗等工艺的电子气体是上述工业不可缺少的原料。电子气体在半导体制造过程中一直扮演着重要的角色，尤其是半导体制程目前已被广泛地应用于各项产业，电子级六氟乙烷因其无毒无臭、高稳定性被广泛应用在半导体制造过程中，六氟乙烷作为干腐蚀剂具有边缘侧向侵蚀现象极微、高蚀刻率及高精确性的优点，可以极好地满足此类线宽较小的制程的要求。

电子级六氟乙烷气体属于高性能精细专用化学品，是我国微电子行业急需发展的重点基础材料和关键材料。目前国内六氟乙烷生产主要以工业级(六氟乙烷纯度低于4N)为主，应用领域以制冷剂为主；而我国微电子行业急需的电子级六氟乙烷(六氟乙烷纯度≥5N)，绝大部分长期依赖进口；传统六氟乙烷制造方法成本高，副产物多，其中的杂质元素氯会破坏臭氧层；国际上发达国家及国内生产四氟化碳规模较大的公司，都将四氟化碳生产中的六氟乙烷作为工业废气进行直接排空处理；采用从四氟化碳生产工业废气中回收提纯电子级六氟乙烷能够大量减少废气排放，不存在比较危险的六氟乙烷合成生产过程，生产成本低，能够有效去除其中含有的不同杂质，使得六氟乙烷纯度高，满足电子气使用需求。

发明内容

为了克服现有技术的缺陷，本发明的一种从四氟化碳生产工业废气中回收提纯电子级六氟乙烷的生产方法，解决技术中传统六氟乙烷制造方法成本高，副产物多，其中的杂质元素氯会破坏臭氧层；国际上发达国家及国内生产四氟化碳规模较大的公司，都将四氟化碳生产中的六氟乙烷作为工业废气进行直接排空处理的问题。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

本发明提供了一种从四氟化碳生产工业废气中回收提纯电子级六氟乙烷的生产方法，包括以下步骤：

步骤1：包括用于回收四氟化碳废气中六氟乙烷的热分解提纯装置，并通过设置在管路上流量计控制原料流量，通过所述热分解提纯装置去除可热分解的微氧，使其转化为可以吸附、精馏去除的化合物；

步骤2：将步骤1中经过所述热分解提纯装置后含有微氧和六氟乙烷的四氟化碳通过管道输送至微氧吸附再生装置；所述微氧吸附再生装置在通入氢气活化合格后，所述微氧吸附再生装置在脱氧剂的作用下能够自行分解去除四氟化碳中微量氧化性物质；并将微氧转换成容易吸附、精馏去除的氢气、二氧化碳、一氧化碳、卤代烃；再经过精密过滤器去除含有六氟乙烷的四氟化碳的固体杂质；

步骤3：将步骤2中所述微氧吸附再生装置经过精密过滤后，进入分馏装置，所述分馏装置排出四氟化碳气体的返回四氟化碳生产线中，以提高了四氟化碳回收率；

步骤4：将步骤3中含有少量杂质的六氟乙烷依次经过汽化器汽化后进入缓冲罐；并使用隔膜式压缩机增压将所述缓冲罐中的六氟乙烷进入带压运行的吸附塔；

步骤5：将所述吸附塔吸附后的六氟乙烷气体再经过预冷器预冷后依次通过高沸精馏塔和低沸精馏塔去除杂质；