[发明专利]一种用于太赫兹波束整形的准光学系统

权利要求书

1.一种用于太赫兹波束整形的准光学系统，其特征在于，包括平板半导体晶体、超半球硅透镜、准直透镜，超半球硅透镜一面为超半球面，一面为平面，平板半导体晶体固定于超半球硅透镜平面侧，准直透镜置于超半球硅透镜超半球面侧，平板半导体晶体、超半球硅透镜、准直透镜的光轴重合。

2.根据权利要求1所述的用于太赫兹波束整形的准光学系统，其特征在于，所述准直透镜为非球面准直透镜，非球面准直透镜凸面为非球面。

3.根据权利要求2所述的用于太赫兹波束整形的准光学系统，其特征在于，非球面准直透镜采用Topas COC。

4.根据权利要求1所述的用于太赫兹波束整形的准光学系统，其特征在于，用于太赫兹波束整形的准光学系统，还包括聚焦透镜和焦面，聚焦透镜置于准直透镜一侧，准直透镜和聚焦透镜凸面相靠近，焦面置于聚焦透镜焦点位置，平板半导体晶体、超半球硅透镜、准直透镜和聚焦透镜的光轴重合。

5.根据权利要求4所述的用于太赫兹波束整形的准光学系统，其特征在于，所述准直透镜为非球面准直透镜，所述聚焦透镜为非球面聚焦透镜，非球面准直透镜和非球面聚焦透镜凸面均为非球面。

6.根据权利要求5所述的用于太赫兹波束整形的准光学系统，其特征在于，非球面准直透镜和非球面聚焦透镜之间的空气光路距离L1为5-50mm，一般选取5-50mm，非球面聚焦透镜与焦面直接距离L2不大于100mm。

7.根据权利要求6所述的用于太赫兹波束整形的准光学系统，其特征在于，非球面聚焦透镜和非球面准直透镜均采用Topas COC。

8.根据权利要求1-7任一项所述的用于太赫兹波束整形的准光学系统，其特征在于，超半球硅透镜超半球面固定在准直透镜平面侧开设的与超半球硅透镜超半球面相对应的凹槽内。

9.根据权利要求8所述的用于太赫兹波束整形的准光学系统，其特征在于，超半球硅透镜表面镀太赫兹增透膜。