[发明专利]一种条形半导体激光器端面镀膜用半遮挡装置及镀膜方法

权利要求书

1.一种条形半导体激光器端面镀膜的半遮挡装置，其特征是，包括工件盘1、遮挡板、修正板、镀膜源、镀膜机，镀膜机内部为腔体结构，镀膜源设于腔体结构的内侧底部，工件盘设于腔体结构的上部，工件盘通过转轴与镀膜机上部支架连接，遮挡板设于工件盘下侧，遮挡板通过支撑架固定到腔体的两侧，修正板设于遮挡板下侧并与腔体内侧连接，工件盘通过下方的遮挡板遮挡后露出的部分为镀膜区域。

2.根据权利要求1所述的条形半导体激光器端面镀膜的半遮挡装置，其特征是，遮挡板与上方的工件盘保持近的距离。

3.一种条形半导体激光器端面镀膜的半遮挡镀膜方法，其特征是，包括以下步骤：

a)将条形半导体激光器端面镀膜用工件盘通过遮挡板进行局部遮挡；

b)调整条形半导体激光器端面镀膜区域使得其原有中心线向右移动与镀膜源中心线重合，使得镀膜源与条形半导体激光器端面镀膜区域在镀膜时形成一个完整的圆锥面；

c)通过镀膜修正板修正后，使得工件盘上条形半导体激光器端面镀膜均匀，条形半导体激光器端面的内圈、中圈、外圈上的产品厚度保持一致；

d)通过遮挡板调整条形半导体激光器端面镀膜区域，使得工件盘原有中心线右移与镀膜源中心线重合，镀膜源到工件盘左边角度由大变小，使得镀膜源到镀膜区域镀膜一致性、镀膜的致密性明显提高。

4.根据权利要求3所述的条形半导体激光器端面镀膜的半遮挡镀膜方法，其特征是，所述条形半导体激光器端面镀膜区域为通过在腔体内部几何作图计算出来的区域，条形半导体激光器端面镀膜区域的中心线与镀膜源中心线重合。