[发明专利]一种单晶炉除尘过滤系统

权利要求书

1.一种单晶炉除尘过滤系统，其特征在于，包括除尘罐主体(1)和真空泵组件，所述除尘罐主体(1)与单晶炉(2)连通，其中，

所述除尘罐主体(1)的内部设置有过滤单元(3)，以过滤所述单晶炉(2)排放的气体；所述除尘罐主体(1)的下端设置有用于排放杂质颗粒(15)的排放口(6)；

所述真空泵组件包括：

抽真空管路(4)和设置在所述抽真空管路(4)上的真空泵(5)；

所述抽真空管路(4)与所述除尘罐主体(1)连通，所述真空泵组件用于在所述单晶炉(2)进行拉晶时对所述除尘罐主体(1)内腔进行抽真空并在所述单晶炉(2)结束拉晶时对所述除尘罐主体(1)内腔进行吹气。

2.根据权利要求1所述的单晶炉除尘过滤系统，其特征在于，所述除尘罐主体(1)通过连接管路(7)与所述单晶炉(2)连通，并且所述连接管路(7)上设置有泄爆阀(8)。

3.根据权利要求2所述的单晶炉除尘过滤系统，其特征在于，所述过滤单元(3)设置在所述除尘罐主体(1)的内腔上部，并且所述连接管路(7)与所述除尘罐主体(1)连接处的开口方向朝向所述过滤单元(3)。

4.根据权利要求2所述的单晶炉除尘过滤系统，其特征在于，所述连接管路(7)上还设置有单向逆止阀(9)，用于防止所述除尘罐主体(1)内的气体进入所述单晶炉(2)。

5.根据权利要求1所述的单晶炉除尘过滤系统，其特征在于，所述抽真空管路(4)包括主管路(41)以及与所述主管路(41)连通的第一支管(42)和第二支管(43)，其中，所述真空泵(5)设置在所述主管路(41)上。

6.根据权利要求5所述的单晶炉除尘过滤系统，其特征在于，所述第一支管(42)连接至所述除尘罐主体(1)的上端侧壁，所述第一支管(42)上设置有第一阀门(10)；所述第二支管(43)连接至所述除尘罐主体(1)的下端侧壁，所述第二支管(43)上设置有第二阀门(11)。

7.根据权利要求6所述的单晶炉除尘过滤系统，其特征在于，所述除尘罐主体(1)的下端侧壁上开设有吹气口(12)，所述第二支管(43)沿与所述除尘罐主体(1)外壁相切的方向与所述吹气口(12)连接。

8.根据权利要求7所述的单晶炉除尘过滤系统，其特征在于，所述除尘罐主体(1)的内腔设置有螺旋状引流板(13)，所述螺旋状引流板(13)以螺旋盘绕的方式固定在所述除尘罐主体(1)的内侧壁，且所述螺旋状引流板(13)的下端设置在所述吹气口(12)的下侧。

9.根据权利要求1所述的单晶炉除尘过滤系统，其特征在于，所述过滤单元(3)包括多个竖向平行排列的面板型过滤网(31)，所述面板型过滤网(31)均固定至所述除尘罐主体(1)的内侧壁。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的单晶炉除尘过滤系统，其特征在于，所述排放口(6)处设置有排气泵(14)。