[发明专利]一种细棒材表面物理沉积涂层用夹持旋转装置在审
申请号: | 201911367558.2 | 申请日: | 2019-12-26 |
公开(公告)号: | CN110965038A | 公开(公告)日: | 2020-04-07 |
发明(设计)人: | 盛立远 | 申请(专利权)人: | 北京大学深圳研究院 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50 |
代理公司: | 深圳市深可信专利代理有限公司 44599 | 代理人: | 万永泉 |
地址: | 518000 广东省深圳市高新*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 细棒材 表面 物理 沉积 涂层 夹持 旋转 装置 | ||
1.一种细棒材表面物理沉积涂层用夹持旋转装置,其特征在于:包括基座(1)及主转轴(11),所述主转轴(1)上固定设置有承载架(2),所述承载架(2)上设置有可径向转动的主动转轴(4),承载架(2)一端设置有可径向转动的第一被动转轴(31),承载架(2)另一端设置有可径向转动的第二被动转轴(32),所述主动转轴(4)外端与基座(1)之间设置有第一齿轮传动组件,主动转轴(4)与第一被动转轴(31)之间设置有第二齿轮传动组件,主动转轴(4)与第二被动转轴(32)之间设置有第三齿轮传动组件,所述第一被动转轴(31)及第二被动转轴(32)用于夹持需要进行表面物理沉积涂层加工的细棒材(9)的两端。
2.根据权利要求1所述的一种细棒材表面物理沉积涂层用夹持旋转装置,其特征在于:所述第一被动转轴(31)通过第一被动转轴轴承(311)安装在承载架(2)上,所述承载架(2)上开设有用于安装所述第一被动转轴轴承(311)的第一被动转轴轴承阶梯安装位(312),所述第一被动转轴轴承(311)安装在所述第一被动转轴轴承阶梯安装位(312)后,第一被动转轴轴承(311)的外圈固定于第一被动转轴轴承阶梯安装位(312)中,第一被动转轴轴承(311)内圈与第一被动转轴(31)侧壁固定连接,所述承载架(2)侧部设置有用于固定第一被动转轴轴承(311)的第一被动转轴轴承压板(313),所述第一被动转轴轴承压板(313)通过第一被动转轴轴承压板螺栓(314)固定在承载架(2)侧部,第一动转轴轴承压板(313)的内沿压紧在第一被动转轴轴承(311)的外圈并将第一被动转轴轴承(311)限位在第一被动转轴轴承阶梯安装位(312)中;
所述二被动转轴(32)通过二被动转轴轴承(321)安装在承载架(2)上,所述承载架(2)上开设有用于安装所述二被动转轴轴承(321)的二被动转轴轴承阶梯安装位(322),所述二被动转轴轴承(321)安装在所述二被动转轴轴承阶梯安装位(322)后,第二被动转轴轴承(321)的外圈固定于二被动转轴轴承阶梯安装位(322)中,二被动转轴轴承(321)内圈与第二被动转轴(32)侧壁固定连接,所述承载架(2)侧部设置有用于固定二被动转轴轴承(321)的二被动转轴轴承压板(323),所述二被动转轴轴承压板(323)通过二被动转轴轴承压板螺栓(324)固定在承载架(2)侧部,二动转轴轴承压板(323)的内沿压紧在二被动转轴轴承(321)的外圈并将二被动转轴轴承(321)限位在二被动转轴轴承阶梯安装位(322)中。
3.根据权利要求1所述的一种细棒材表面物理沉积涂层用夹持旋转装置,其特征在于:所述主动转轴(4)通过第一主动转轴轴承(41)及第二主动转轴轴承(42)安装在承载架(2)上,所述承载架(2)上开设有第一主动转轴轴承安装孔(21)及第二主动转轴轴承安装孔(22),所述第一主动转轴轴承(41)及第二主动转轴轴承(42)分别安装在第一主动转轴轴承安装孔(21)及第二主动转轴轴承安装孔(22)中,第一主动转轴轴承(41)的外圈固定于第一主动转轴轴承安装孔(21)的内壁,第二主动转轴轴承(42)的外圈固定于第二主动转轴轴承安装孔(22)的内壁,所述第一主动转轴轴承(41)及第二主动转轴轴承(42)的内圈均固定于所述主动转轴(4)的外壁。
4.根据权利要求1所述的一种细棒材表面物理沉积涂层用夹持旋转装置,其特征在于:所述第一齿轮传动组件包括固定安装在主动转轴(4)一端的中间齿轮(61)及固定在基座(1)上并与所述中间齿轮(61)相互啮合的底部齿盘(62)。
5.根据权利要求4所述的一种细棒材表面物理沉积涂层用夹持旋转装置,其特征在于:所述中间齿轮(61)通过第一中间齿轮锁定件(611)安装在第主动转轴(4)外端,中间齿轮(61)外侧依次设置有中间齿轮垫片(612)及中间齿轮固定螺母(613);所述中间齿轮(61)及底部齿盘(62)均为锥齿轮,所述底部齿盘(62)具有齿盘内延伸部(621),所述齿盘内延伸部(621)通过齿盘固定螺栓(622)固定安装在基座(1)上表面。
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