[发明专利]一种导热导电复合薄膜与一种集成加热模组

说明书

本发明提供了导热导电复合薄膜，由离型膜、粘结层、基质层、导热导电层、电极材料层以及隔离层组成；所述粘结层复合于所述离型膜的表面；所述基质层复合于所述粘结层的表面；所述导热导电层复合于所述基质层的表面；所述电极材料层复合于所述导热导电层的表面；所述隔离层复合于所述电极材料层的表面。本申请还提供了导热导电复合薄膜的具体应用。本申请提供的导热导电复合薄膜由于导热导电层中特定材料的选择，使得导热导电复合薄膜在三轴向方向上具有均匀、快速的导热导电性。

技术领域

本发明涉及加热器件技术领域，尤其涉及一种导热导电复合薄膜与一种集成加热模组。

背景技术

在半导体工艺设备中以湿法设备为例，众多气体或液体需要经过加热后使用，以液体清洗工艺为例：SPM、APM、HPM、HQDR、DHF、BHF、H₃PO⁴等清洗工艺皆需要对清洗反应溶液进行整体操作，温度需要持续控制；对于气体清洗或干燥工艺而言，如N₂、Ar、CO₂等气体操作工艺需要对温度的持续输出控制。因此，为了满足使用需求，在湿法设备中引入加热器件或加热设备是必不可少的。

目前，加热器件、加热设备或模组装置皆是额外引入至设备中，再经由管路输送的方式，传输至气体或液体，然而使用这种加热方式，使需要加热的介质有额外的热量损耗，进而需要供给更多的热量来源，由此会产生额外的能量输出消耗、管件以及模组装置的配置，这对湿法设备的使用会造成诸多不便与成本消耗。因此，建立一个可以有效解决热量损耗、直接性的加热方法且与湿法设备模组集成的方法是极其重要的。

发明内容

本发明解决的技术问题在于提供一种导热导电复合薄膜，本申请提供的导热导电复合薄膜可实现导热导电在三轴向方向上均匀、快速。

本申请提供了一种导热导电复合薄膜，由离型膜、粘结层、基质层、导热导电层、电极材料层以及隔离层组成；

所述粘结层复合于所述离型膜的表面；

所述基质层复合于所述粘结层的表面；

所述导热导电层复合于所述基质层的表面；

所述电极材料层复合于所述导热导电层的表面；

所述隔离层复合于所述电极材料层的表面；

所述导热导电层的材料包括基底材料、碳源材料、纯金属团簇材料和金属氧化物；所述碳源材料在基底材料中的分布状态为2-D堆叠分布和3-D堆叠分布；所述碳源材料中至少包括石墨烯和氧化石墨烯。

优选的，所述分布状态的形成依次经过了a)碳源材料的先部分劣化处理，再接枝处理；b)先电化学氧化还原反应再化学反应；c)碳源材料的先部分劣化处理，再接枝处理；

步骤a)和步骤c)所述部分劣化处理具体为：

将所述碳源材料依次进行氧化处理和磺酸化处理；

所述接枝处理具体为：

将经过部分劣化处理的碳源材料在开环剂的作用下反应；所述开环剂选自发烟硫酸、硝酸、活化的次氯酸、氯化钾、高锰酸钾和联氨中的一种或多种；

步骤b)所述电化学氧化还原反应具体为：

将步骤a)得到的碳源材料涂覆于电极上，在电化学反应器中加入电解液，对上述得到的电极进行磁场干涉，通入电流，反应；

所述电解液包含超纯水、强酸、强氧化剂、插层剂、合成后金属螯合前驱源和添加剂；

所述化学反应具体为：

将电化学氧化还原后的碳源材料置于反应溶液中反应；所述反应溶液中包括：磺化基团来源、开环反应催化剂、强氧化剂和共价键修饰剂。