[发明专利]一种列阵波导光栅及其制备方法、应用和应用产品

权利要求书

1.一种列阵波导光栅，包括输入波导、输入耦合器、阵列波导、输出耦合器和输出波导阵列；所述输入波导用于将光波输入到所述输入耦合器；所述输入耦合器用于将光波耦合进入每一条阵列波导中；所述输出耦合器用于对所述阵列波导传播过来的不同相位的光波进行干涉叠加；所述输出波导阵列用于输出所述输出耦合器传播过来的不同波长的光波；其特征在于：所述阵列波导的波导宽度满足公式所述输出波导阵列的波导宽度满足公式其中N＝λL/d_id₀，λ为入射光的波长，L为耦合器曲率半径，p为变换阶次。

2.根据权利要求1所述列阵波导光栅，其特征在于：所述列阵波导光栅采用不含硅的聚合物材料制得。

3.根据权利要求2所述列阵波导光栅，其特征在于：所述阵列波导的衬底选自聚甲基丙烯酸甲酯，芯层选自SU-8，包层选自苯并环丁烯。

4.如权利要求1-3任一所述列阵波导光栅，其特征在于，应用于在制备波长路由器、光分插复用器、波长选择器、多波长光源、多波长接收器、光谱分析仪、色散补偿器、多波长同时检测电路中。

5.一种光谱分析仪，其特征在于：包括权利要求1-3任一所述列阵波导光栅。

6.一种波分复用器，其特征在于：包括权利要求1-3任一所述列阵波导光栅。