[发明专利]间距调节装置、半导体设备及刻蚀工艺腔室

权利要求书

1.一种间距调节装置，用于调节第一部件与第二部件之间的间距，其特征在于，包括：

间距调节模块，其用于使所述第一部件与所述第二部件之间保持间距，并根据设定的间距值对所述间距进行调节；所述间距调节模块包括用于使所述第一部件与所述第二部件之间发生相对位移的驱动单元和用于使所述驱动单元连接至所述第一部件和所述第二部件中的任意一方的连接单元；所述驱动单元包括马达或气缸；所述连接单元包括连接杆与连接件；

连接所述间距调节模块的控制模块，其用于设定所述间距值，并根据所述间距值控制所述间距调节模块调节所述间距；

所述控制模块包括间距值设置单元、限位单元、间距量测单元和控制单元；所述间距值设置单元连接所述控制单元，用于设置所述间距值并向所述控制单元输出所述间距值；所述限位单元连接所述第一部件和/或所述第二部件，用于对所述第一部件和/或所述第二部件的移动位置进行限位，所述限位单元还连接所述控制单元并将限位结果输出至所述控制单元；所述间距量测单元分别连接所述控制单元、所述第一部件和所述第二部件，用于实时量测所述第一部件与所述第二部件之间的实际间距值，并将所述实际间距值输出至所述控制单元；所述控制单元还连接所述驱动单元，用于根据所述间距值、所述限位结果和所述实际间距值控制所述驱动单元调节所述第一部件与所述第二部件之间的所述间距。

2.根据权利要求1所述的间距调节装置，其特征在于：所述连接杆包括螺杆；所述连接件包括内螺纹连接件。

3.根据权利要求1所述的间距调节装置，其特征在于：所述限位单元包括限位结构和限位传感器；所述限位结构连接所述第一部件和/或所述第二部件，用于对所述第一部件和/或所述第二部件的移动位置进行限位；所述限位传感器连接所述控制单元，用于检测所述限位结构的所述限位结果并将所述限位结果输出至所述控制单元。

4.根据权利要求1所述的间距调节装置，其特征在于：所述间距量测单元包括间距传感器；所述间距传感器设置于所述第一部件和所述第二部件中的任意一方上，用于实时量测所述第一部件与所述第二部件之间的实际间距值；所述间距传感器还连接所述控制单元并将所述实际间距值输出至所述控制单元。

5.根据权利要求1所述的间距调节装置，其特征在于：所述间距调节模块包括第一间距调节模块，当所述间距调节装置用于调节所述第一部件和所述第二部件之间的间距时，所述第一间距调节模块与所述第一部件连接。

6.根据权利要求5所述的间距调节装置，其特征在于：所述间距调节模块还包括第二间距调节模块，当所述间距调节装置用于调节所述第一部件和所述第二部件之间的间距时，所述第二间距调节模块与所述第二部件连接。

7.一种半导体设备，其特征在于：所述半导体设备包括如权利要求1至6中任意一项所述的间距调节装置。