[发明专利]一种辊筒表面微结构制作设备、系统及方法

权利要求书

1.一种辊筒表面微结构制作设备，其特征在于，包括：

激光器，用于发出激光光束；

激光直写装置，用于调整所述激光光束，获得直边、平顶分布的调整光束；

聚焦透镜，用于聚焦所述调整光束，得到用于刻制微结构的聚焦光束；

控制器，用于调整所述聚焦透镜与待刻所述微结构的辊筒的表面的距离为所述聚焦透镜的焦距值，和控制所述激光直写装置获得所述调整光束；

空气压缩装置，用于压缩空气产生压缩后空气；

相应的，所述聚焦透镜的中心设置有通孔，所述通孔作为所述压缩后空气的出口；

相应的，所述控制器用于根据所述通孔处的压缩后空气的压力调整所述聚焦透镜与待刻所述微结构的所述辊筒的所述表面的距离。

2.如权利要求1所述的辊筒表面微结构制作设备，其特征在于，还包括：

光路调整部件，用于调整所述调整光束的方向，以使所述调整光束射入所述聚焦透镜。

3.如权利要求2所述的辊筒表面微结构制作设备，其特征在于，所述光路调整部件为反射镜。

4.如权利要求1所述的辊筒表面微结构制作设备，其特征在于，所述激光直写装置包括直写光路单元、检焦光路单元、光束整形及校正光路单元、直写图形效果检测光路单元。

5.一种辊筒表面微结构制作系统，其特征在于，包括表面待刻微结构的辊筒和如权利要求1至4任一项所述的辊筒表面微结构制作设备，其中，所述表面涂有光刻胶。

6.一种用于如权利要求1所述的辊筒表面微结构制作设备的辊筒表面微结构制作方法，其特征在于，包括：

获取距离调整指令，并根据所述距离调整指令调整聚焦透镜与待刻微结构的辊筒的表面的距离为所述聚焦透镜的焦距值，其中，所述表面涂有光刻胶；

激光器发出激光光束；

获取光束调整指令，并根据所述光束调整指令控制激光直写装置调整所述激光光束，以获得直边、平顶分布的调整光束；

所述聚焦透镜聚焦所述调整光束得到聚焦光束，以使所述聚焦光束对所述表面进行光刻，得到表面具有所述微结构的光刻后辊筒。

7.如权利要求6所述的辊筒表面微结构制作方法，其特征在于，在所述得到表面具有所述微结构的光刻后辊筒之后，还包括：

在所述光刻后辊筒的表面制作金属层。

8.如权利要求7所述的辊筒表面微结构制作方法，其特征在于，在所述光刻后辊筒的表面制作金属层包括：

采用电镀法，在所述光刻后辊筒的表面制作金属层。

9.如权利要求8所述的辊筒表面微结构制作方法，其特征在于，所述金属层为镍金属层或者铜金属层。