[发明专利]一种高精度晶体生长粉料给定控制装置

权利要求书

1.一种高精度晶体生长粉料给定控制装置，其特征在于，该装置包括：控制器支撑件，所述控制器支撑件内安装有PWM调速电机，所述PWM调速电机的旋转轴承通过旋转摇臂连接一旋转-直线运动轴承，通过旋转-直线运动轴承带动直线运动定轴器上下运动，所述直线运动定轴器的端部伸出控制器壳体，在直线运动定轴器的端部安装有振动位移调节头；在晶体生长炉的上方设置给料仓，在所述给料仓竖直向端部对应直线运动定轴器的下方安装有振动往复活塞，直线运动定轴器的上下运动触动振动往复活塞使得振动往复活塞上下往复运动，所述振动往复活塞连接一振动杆，所述振动杆带动给料仓仓底的粉体给料筛网按照设定的振幅和频率振动向晶体生长炉内给料。

2.按照权利要求1所述的装置，其特征在于，所述粉体给料筛网沿给料仓内壁按照给定频率与振幅上下滑动。

3.按照权利要求1所述的装置，其特征在于，该装置包括可编程控制器，所述可编程控制器通过EM235模拟量模块连接的料量传感器采集的反馈信号确定给料量，根据控制要求采用内嵌控制算法将控制值送到PWM控制模块控制所述PWM调速电机。

4.按照权利要求1所述的装置，其特征在于，可编程控制器根据实际给料量与设定值之间的差值调节控制信号，当控制信号的差值大于一个步长时，按模糊控制的算法进行控制，当控制信号的差值小于一个步长时，采用连续控制算法进行控制。

5.按照权利要求1所述的装置，其特征在于，所述PWM调速电机输出的频率给定采用矢量控制模式，通过矢量坐标电路控制PWM调速电机定子电流的大小和相位，控制电动机转矩。