[发明专利]一种石墨舟饱和的工艺方法在审
| 申请号： | 201911372652.7 | 申请日： | 2019-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN111118479A | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | 胡茂界;丁晨;陈刚 | 申请（专利权）人： | 浙江爱旭太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/515 | 分类号： | C23C16/515;C23C16/34;C23C16/32;C23C16/52;C23C16/02;H01L21/673 |
| 代理公司： | 浙江杭州金通专利事务所有限公司 33100 | 代理人： | 金丽英 |
| 地址： | 322000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 饱和 工艺 方法 | ||
1.一种石墨舟饱和的工艺方法，其特征在于：包括以下步骤；
步骤一，使用氮化硅桨将空石墨舟送进石英炉管；
步骤二，抽真空，通入流量为15标准升每分钟的氮气，所有温区温度升至420摄氏度；
步骤三，抽真空，至压力达到30毫托时，通入流量为15标准升每分钟的氮气，时间300秒，再抽真空，本步骤重复三次；
步骤四，通入流量为5标准升每分钟的氨气，使炉管内压力稳定在1700毫托，温度控制在450至460摄氏度，放电功率3600瓦，预清洗300秒；
步骤五，抽真空，至压力达到30毫托时，通入流量为600至700标准毫升每分钟的硅烷，通入流量为6.5标准升每分钟的甲烷，压力稳定在1500毫托，放电功率6500瓦，持续放电5000至11000秒；
步骤六，抽真空，至压力达到30毫托时，通入流量为850至950标准毫升每分钟的硅烷，通入流量为7.8标准升每分钟的氨气，放电功率7500瓦，持续放电200秒；
步骤七，停止通气，抽真空，至压力达到毫托时，通入流量为15标准升每分钟的氮气，再抽真空，本步骤重复二次；
步骤八，卸舟。
2.如权利要求1所述的石墨舟饱和的工艺方法，其特征在于：所述步骤四中，放电过程的脉冲开关比例为6:12至6:18。
3.如权利要求1所述的石墨舟饱和的工艺方法，其特征在于：所述步骤五中，放电过程的脉冲开关比例为5:70至5:80。
4.如权利要求1所述的石墨舟饱和的工艺方法，其特征在于：所述步骤五中，放电过程的脉冲开关比例为5:45至5:50。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江爱旭太阳能科技有限公司，未经浙江爱旭太阳能科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201911372652.7/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：污水排放监控装置
- 下一篇：一种耐磨、耐高温的润滑油组合物
- 同类专利
- 专利分类
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
