[发明专利]透明导电性薄膜及结晶性透明导电性薄膜在审

专利信息
申请号: 201911374409.9 申请日: 2019-12-27
公开(公告)号: CN111383794A 公开(公告)日: 2020-07-07
发明(设计)人: 竹安智宏;酒井和也;西岛仁志 申请(专利权)人: 日东电工株式会社
主分类号: H01B5/14 分类号: H01B5/14;H01B1/02;G06F3/041
代理公司: 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 代理人: 刘新宇;李茂家
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 透明 导电性 薄膜 结晶
【权利要求书】:

1.一种透明导电性薄膜,其特征在于,具备:透明基材、和配置于所述透明基材的厚度方向一侧的透明导电层,

所述透明导电层为非晶质,

所述透明导电层在厚度方向具有:由含有铪的铟系氧化物形成的Hf区域、和由含有锡的铟系氧化物形成的Sn区域。

2.根据权利要求1所述的透明导电性薄膜,其特征在于,所述Hf区域配置于所述Sn区域的厚度方向一侧。

3.根据权利要求1或2所述的透明导电性薄膜,其特征在于,所述透明导电层的厚度为10nm以上且35nm以下。

4.根据权利要求1或2所述的透明导电性薄膜,其特征在于,所述透明基材为环烯烃系薄膜。

5.根据权利要求3所述的透明导电性薄膜,其特征在于,所述透明基材为环烯烃系薄膜。

6.一种结晶性透明导电性薄膜,其特征在于,其是将权利要求1~5中任一项所述的透明导电性薄膜的所述透明导电层结晶化而成的。

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