[发明专利]透明导电性薄膜及结晶性透明导电性薄膜在审
申请号: | 201911374409.9 | 申请日: | 2019-12-27 |
公开(公告)号: | CN111383794A | 公开(公告)日: | 2020-07-07 |
发明(设计)人: | 竹安智宏;酒井和也;西岛仁志 | 申请(专利权)人: | 日东电工株式会社 |
主分类号: | H01B5/14 | 分类号: | H01B5/14;H01B1/02;G06F3/041 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;李茂家 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 透明 导电性 薄膜 结晶 | ||
1.一种透明导电性薄膜,其特征在于,具备:透明基材、和配置于所述透明基材的厚度方向一侧的透明导电层,
所述透明导电层为非晶质,
所述透明导电层在厚度方向具有:由含有铪的铟系氧化物形成的Hf区域、和由含有锡的铟系氧化物形成的Sn区域。
2.根据权利要求1所述的透明导电性薄膜,其特征在于,所述Hf区域配置于所述Sn区域的厚度方向一侧。
3.根据权利要求1或2所述的透明导电性薄膜,其特征在于,所述透明导电层的厚度为10nm以上且35nm以下。
4.根据权利要求1或2所述的透明导电性薄膜,其特征在于,所述透明基材为环烯烃系薄膜。
5.根据权利要求3所述的透明导电性薄膜,其特征在于,所述透明基材为环烯烃系薄膜。
6.一种结晶性透明导电性薄膜,其特征在于,其是将权利要求1~5中任一项所述的透明导电性薄膜的所述透明导电层结晶化而成的。
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