[发明专利]一种大流量平板有机废气等离子体处理装置在审
| 申请号： | 201911374649.9 | 申请日： | 2019-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN111068473A | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 刘建奇;刘鑫;钟方川;李贤英;陈佳尧 | 申请（专利权）人： | 东华大学 |
| 主分类号： | B01D53/32 | 分类号： | B01D53/32 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人： | 徐俊 |
| 地址： | 201600 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 流量 平板 有机 废气 等离子体 处理 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种大流量平板有机废气等离子体处理装置，其特征在于，包括外壳、进气管、出气管、高压电极和接地电极，进气管设于外壳上端并连通有气体缓冲室，气体缓冲室设于外壳上部，气体缓冲室底部设有通孔，外壳底部设有出气管，通孔与出气管之间为放电区域，放电区域内设有电极网和接地网，电极网与高压电极相连，接地网与接地电极相连，电极网和接地网之间设有石英板，所述电极网、石英板、接地网均通过支架与外壳连接。
2.如权利要求1所述的一种大流量平板有机废气等离子体处理装置，其特征在于，所述的高压电极与外壳连接处设有高压电极护套。
3.如权利要求1所述的一种大流量平板有机废气等离子体处理装置，其特征在于，所述的接地电极与外壳连接处设有接地护套。
4.如权利要求1所述的一种大流量平板有机废气等离子体处理装置，其特征在于，所述的外壳为绝缘材质。
5.如权利要求4所述的一种大流量平板有机废气等离子体处理装置，其特征在于，所述的支架为绝缘材质。
6.如权利要求5所述的一种大流量平板有机废气等离子体处理装置，其特征在于，所述的电极网为铜材质。
7.如权利要求5所述的一种大流量平板有机废气等离子体处理装置，其特征在于，所述的接地网为铜材质。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东华大学，未经东华大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201911374649.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
