[发明专利]一种大流量平板有机废气等离子体处理装置在审
申请号: | 201911374649.9 | 申请日: | 2019-12-27 |
公开(公告)号: | CN111068473A | 公开(公告)日: | 2020-04-28 |
发明(设计)人: | 刘建奇;刘鑫;钟方川;李贤英;陈佳尧 | 申请(专利权)人: | 东华大学 |
主分类号: | B01D53/32 | 分类号: | B01D53/32 |
代理公司: | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人: | 徐俊 |
地址: | 201600 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 流量 平板 有机 废气 等离子体 处理 装置 | ||
1.一种大流量平板有机废气等离子体处理装置,其特征在于,包括外壳、进气管、出气管、高压电极和接地电极,进气管设于外壳上端并连通有气体缓冲室,气体缓冲室设于外壳上部,气体缓冲室底部设有通孔,外壳底部设有出气管,通孔与出气管之间为放电区域,放电区域内设有电极网和接地网,电极网与高压电极相连,接地网与接地电极相连,电极网和接地网之间设有石英板,所述电极网、石英板、接地网均通过支架与外壳连接。
2.如权利要求1所述的一种大流量平板有机废气等离子体处理装置,其特征在于,所述的高压电极与外壳连接处设有高压电极护套。
3.如权利要求1所述的一种大流量平板有机废气等离子体处理装置,其特征在于,所述的接地电极与外壳连接处设有接地护套。
4.如权利要求1所述的一种大流量平板有机废气等离子体处理装置,其特征在于,所述的外壳为绝缘材质。
5.如权利要求4所述的一种大流量平板有机废气等离子体处理装置,其特征在于,所述的支架为绝缘材质。
6.如权利要求5所述的一种大流量平板有机废气等离子体处理装置,其特征在于,所述的电极网为铜材质。
7.如权利要求5所述的一种大流量平板有机废气等离子体处理装置,其特征在于,所述的接地网为铜材质。
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