[发明专利]晶圆研磨用头在审
| 申请号： | 201911376594.5 | 申请日： | 2019-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN112658978A | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | 持丸顺行;小林裕志;五十岚保成;上原幸夫;高冈和宏 | 申请（专利权）人： | 株式会社冈本工作机械制作所 |
| 主分类号： | B24B37/11 | 分类号： | B24B37/11 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 鹿屹;李雪春 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 研磨 | ||
1.一种晶圆研磨用头，其特征在于，包括：
卡盘机构，具备由弹性体形成的橡胶卡盘和由刚体形成的刚体卡盘；
第一压力调整机构，能够向所述橡胶卡盘的附近供给空气；以及
第二压力调整机构，能够向所述刚体卡盘的附近供给空气，
所述晶圆研磨用头能够通过切换所述第一压力调整机构的空气供给和所述第二压力调整机构的空气供给，而进行加工方法的切换。
2.根据权利要求1所述的晶圆研磨用头，其特征在于，
所述橡胶卡盘构成为由其下面推压作为加工对象的晶圆，
所述刚体卡盘构成为其下面能够抵接于所述橡胶卡盘的上面。
3.根据权利要求2所述的晶圆研磨用头，其特征在于，
所述第一压力调整机构能够向所述橡胶卡盘的上面与所述刚体卡盘的下面之间供给空气，
所述第二压力调整机构能够向所述刚体卡盘的上面供给空气。
4.根据权利要求1～3中任意一项所述的晶圆研磨用头，其特征在于，所述刚体卡盘由多孔体形成。
5.根据权利要求1～4中任意一项所述的晶圆研磨用头，其特征在于，
在由所述第一压力调整机构供给空气的状态下，构成表面基准研磨的所述卡盘机构，
在由所述第二压力调整机构供给空气的状态下，构成背面基准研磨的所述卡盘机构。
6.根据权利要求1～5中任意一项所述的晶圆研磨用头，其特征在于，所述第一压力调整机构能够使所述橡胶卡盘的附近向大气开放、以及能够从所述橡胶卡盘的附近吸引空气。
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