[发明专利]一种用于多晶硅制绒废酸液回收利用装置和方法

权利要求书

1.一种用于多晶硅制绒废酸液回收利用方法，其特征在于，包括：

步骤1：测定制绒废酸液中的硝酸、氢氟酸以及氟硅酸的含量；

步骤2：测定各酸液含量后的所述制绒废酸液中混合加入二氧化硅，加入的二氧化硅摩尔量与氢氟酸摩尔量的关系比例为1:1，搅拌反应30分钟，将其中的氢氟酸反应生成氟硅酸和四氟化硅，四氟化硅作为气体可通过排气通道至废气处理设备；

步骤3：经加入二氧化硅反应后的混合酸液中再加入硝酸钾，加入的硝酸钾与氟硅酸的摩尔比为2：1，搅拌30分钟后，反应后再通过降低反应釜温度达到冷结晶的目的，降低氟硅酸钾溶解度，使其最大化转化生成氟硅酸钾沉淀物，洗净、蒸发、干燥后即可作为产品销售，而过滤去除氟硅酸钾沉淀物后得到的滤液即为稀硝酸；

步骤4：将浓硝酸镁与步骤3中所得到的稀硝酸进行混合后进行减压精馏处理，减压精馏是通过使用真空循环泵在精馏塔10中形成压力为-0.01兆帕条件，同时温度为85~95摄氏度，精馏生成的浓硝酸蒸汽再经冷凝后形成浓硝酸；

步骤5：步骤4中精馏处理后留有含少量硝酸的稀硝酸镁溶液，在测量步骤4中生成的稀硝酸镁溶液中硝酸含量后，向其中加入氧化镁中和其中的稀硝酸，再对中和后稀硝酸镁溶液进行蒸发，蒸发去除部分水分后剩余溶液即为浓硝酸镁溶液，所述浓硝酸镁溶液即可再作为所述步骤4中的脱水剂进行使用。

2.根据权利要求1所述的用于多晶硅制绒废酸液回收利用方法，其特征在于，步骤4中所留有的稀硝酸镁溶液先经再沸器处理，所述再沸器的气相产物与精馏段的下降液体进行相际传质，而液相产物则为进行初步提纯后的含稀硝酸的稀硝酸镁溶液。