[发明专利]移动机构及其驱动方法、电子设备、成像模组

权利要求书

1.一种移动机构，用于移动被移动部件，其特征在于，包括：

固定平台；

位移模块，位于所述固定平台上，所述位移模块包括：

固定于所述固定平台上的固定电极，包括顶面和侧面；

位于所述固定平台上、与固定电极分立设置的可动侧电极，所述可动侧电极包括：固定于所述固定平台上的固定端，以及悬臂结构，所述悬臂结构的第一端与所述固定端相连，所述悬臂结构的第二端与所述固定平台悬空设置，所述悬臂结构的侧面与所述固定电极的侧面相对设置；

可移动平台，用于支撑被移动部件，所述可移动平台平行设置于所述位移模块的上方且与所述位移模块悬空设置，所述可移动平台包括可动上电极以及位于所述可动上电极上的可动极板。

2.如权利要求1所述的移动机构，其特征在于，所述移动机构还包括：位于所述固定平台上的围壁结构，所述围壁结构围成空腔；所述位移模块和所述可移动平台位于所述空腔中。

3.如权利要求2所述的移动机构，其特征在于，所述围壁结构和可动上电极之间有设置有导线。

4.如权利要求2所述的移动机构，其特征在于，所述移动机构还包括：限位结构，设置于所述围壁结构的顶部上。

5.如权利要求3所述的移动机构，其特征在于，所述移动机构还包括：设置于所述围壁结构上的多个电极引脚；

所述导线的一端与所述电极引脚相连，所述导线的另一端与所述可动上电极相连。

6.如权利要求3所述的移动机构，其特征在于，所述导线为弹簧导线。

7.如权利要求1所述的移动机构，其特征在于，所述可动侧电极中的悬臂结构的第二端还设置有支撑结构，所述支撑结构位于悬臂结构背向固定电极的一侧，所述支撑结构的顶面高于所述固定端和悬臂结构的顶面。

8.如权利要求7所述的移动机构，其特征在于，所述支撑结构和悬臂结构为一体型结构。

9.如权利要求1所述的移动机构，其特征在于，所述移动机构还包括：位于所述固定电极的顶面上的第一绝缘层、以及位于所述可动侧电极的顶面上的第二绝缘层；

或者，所述移动机构还包括：位于所述可动上电极底部的第三绝缘层；

或者，所述移动机构还包括：位于所述固定电极的顶面上的第一绝缘层、位于所述可动侧电极的顶面上的第二绝缘层、以及位于所述可动上电极底部的第三绝缘层。

10.如权利要求9所述的移动机构，其特征在于，所述第一绝缘层、第二绝缘层以及第三绝缘层中的至少一个的材料为氧化硅、氮化硅或氮氧化硅。

11.如权利要求1所述的移动机构，其特征在于，所述移动机构还包括：位于所述固定电极与所述可动侧电极相对的侧面上的第四绝缘层；

或者，所述移动机构还包括：位于可动侧电极与固定电极相对的侧面上的第五绝缘层；

或者，所述移动机构还包括：位于所述固定电极与可动侧电极相对侧面上的第四绝缘层、以及位于可动侧电极与固定电极相对侧面上的第五绝缘层。

12.如权利要求11所述的移动机构，其特征在于，所述第四绝缘层和第五绝缘层中的至少一个的材料为氧化硅、氮化硅或氮氧化硅。

13.如权利要求1所述的移动机构，其特征在于，所述可动上电极为可形变材料。

14.如权利要求1所述的移动机构，其特征在于，所述可动侧电极还包括与所述固定端相连的柔性结构，所述悬臂结构的第一端与所述固定端之间通过所述柔性结构相连。

15.如权利要求14所述的移动机构，其特征在于，所述柔性结构包括M型结构、U型结构或Z字型结构。