[发明专利]驱动装置、介电弹性体致动器及其制作方法

权利要求书

1.一种介电弹性体致动器的制作方法，其特征在于包括：

获取介电弹性体和液态金属；

将所述液态金属附着于所述介电弹性体的两侧表面，得到所述介电弹性体致动器。

2.根据权利要求1所述的介电弹性体致动器的制作方法，其特征在于，将所述液态金属附着于所述介电弹性体的方式包括以下之一：涂刷法、化学镀膜法、真空填充法。

3.一种介电弹性体致动器，其特征在于，所述介电弹性体致动器包括：第一介电弹性体、第一液态金属电极、第二液态金属电极，其中，所述第一液态金属电极和所述第二液态金属电极分别附着于所述第一介电弹性体的两侧表面，且所述第一液态金属电极和所述第二液态金属电极能够随所述第一介电弹性体发生平面应变。

4.根据权利要求3所述的介电弹性体致动器，其特征在于，所述第一介电弹性体及其两侧表面附着的所述第一液态金属电极和所述第二液态金属电极呈平面状设置。

5.根据权利要求3所述的介电弹性体致动器，其特征在于，所述介电弹性体致动器还包括绝缘层，所述第一介电弹性体及其两侧表面附着的所述第一液态金属电极和所述第二液态金属电极呈卷绕的筒状设置，所述绝缘层设置于所述第一液态金属电极和所述第二液态金属电极之间。

6.根据权利要求5所述的介电弹性体致动器，其特征在于，所述绝缘层为第二介电弹性体。

7.根据权利要求3所述的介电弹性体致动器，其特征在于，所述第一介电弹性体及其两侧表面附着的所述第一液态金属电极和所述第二液态金属电极交替折叠为立体形状。

8.根据权利要求3所述的介电弹性体致动器，其特征在于，所述介电弹性体致动器还包括第一引出电极和/或第二引出电极，其中，所述第一引出电极电连接于所述第一液态金属电极，所述第二引出电极电连接于所述第二液态金属电极。

9.根据权利要求3至8中任一项所述的介电弹性体致动器，其特征在于，制成所述第一液态金属电极和所述第二液态金属电极的液态金属中掺杂有固态金属微粒或固态金属离子。

10.一种驱动装置，其特征在于，所述驱动装置包括一个或者多个如权利要求3至9中任一项所述的介电弹性体致动器,其中，所述驱动装置利用所述介电弹性体致动器在厚度和/或面积上产生的电致形变产生作用力。