[发明专利]一种磁控管阴极组件与硅钼焊料一体化的制备方法

权利要求书

1.一种磁控管阴极组件与硅钼焊料一体化的制备方法，其特征在于，步骤如下：（1）选材、配比：将粒径为0.5μm-25μm的硅粉和粒径为2μm-40μm的钼粉按照质量百分比1：8-1：13进行配比；（2）研磨、混匀：将配比好的粉末加入至球磨机中进行研磨、混匀，球料比为5：1-15：1、研磨介质球径为5mm-12mm、研磨时间为8h-36h、研磨速度为250rmp/min-600rpm/min，研磨气氛为Ar保护，通入Ar时，首先对球磨机进行抽真空，将内部的空气预先抽出，然后通入Ar再进行置换1min-5min；（3）筛分：研磨完成后，将粉末与磨球进行筛分，并将粉末过300目筛网，取筛下物使用，整个操作过程需在真空或氩气保护下进行，以防粉末接触空气发生氧化；（4）配置有机载体：称取60-90份树脂、5-15份树脂稀释剂，采用机械搅拌的方法搅拌5min-30min、搅拌速度设定为200r/min-3000r/min，使树脂与树脂稀释剂充分混合形成黏度一定的乳液，再加入35-65份流变剂，同样采用机械搅拌的方法搅拌5min-30min、搅拌速度设定为200r/min-3000r/min，形成膏状的有机载体；（5）配置硅钼焊料浆液：称取占步骤（3）所得粉末重量5%-15%的有机载体添加入粉末中，然后加入占步骤（3）所得粉末重量5%-20%的溶剂进行搅拌，搅拌转速为100r/min-4000r/min、搅拌时间为5min-30min后形成均匀的硅钼焊料浆液，搅拌过程中会出现气泡，在搅拌过程中或搅拌开始时加入占步骤（3）所得粉末重量0.1%-1%的消泡剂进行消泡；（6）涂布：将硅钼焊料浆液通过自动涂布的方式涂布于上下端帽的凹槽内，涂布焊料重量控制在5mg-15mg；（7）预烧结：将涂布焊料完成的端帽首先置于氢气气氛预烧炉中进行预烧结，以将添加的有机物挥发出去，为高温烧结做好准备；预烧温度设定为500℃-850℃、预烧时间为1h-6h、氢气流量控制在1Nm3/h-5 Nm3/h；（8）高温烧结：预烧后的产品进行高温烧结，烧结温度为1700℃-2200℃、烧结时间0.1h-3.5h；（9）焊接：端帽焊料烧结一体化后，将端帽与支杆进行电阻焊接形成支撑组件，将钍钨灯丝置于支撑组件上下端帽中间，通过高频焊使焊料在毛细作用和集肤效应下攀附在灯丝上，将灯丝固定在支撑组件中间。

2.根据权利要求1所述的一种磁控管阴极组件与硅钼焊料一体化的制备方法，其特征在于：所述树脂为环氧树脂。

3.根据权利要求1所述的一种磁控管阴极组件与硅钼焊料一体化的制备方法，其特征在于：所述树脂稀释剂为环氧树脂稀释剂。

4.根据权利要求1所述的一种磁控管阴极组件与硅钼焊料一体化的制备方法，其特征在于：所述流变剂为聚酰胺蜡或聚乙烯蜡中的一种。

5.根据权利要求1所述的一种磁控管阴极组件与硅钼焊料一体化的制备方法，其特征在于：所述溶剂为丁酯或二甲苯中的一种。

6.根据权利要求1所述的一种磁控管阴极组件与硅钼焊料一体化的制备方法，其特征在于：所述消泡剂为聚丙烯酸脂。