[发明专利]器件封装方法及器件封装结构在审
申请号: | 201911382883.6 | 申请日: | 2019-12-27 |
公开(公告)号: | CN113053762A | 公开(公告)日: | 2021-06-29 |
发明(设计)人: | 汪新学;向阳辉;马云苗;王敬平 | 申请(专利权)人: | 中芯集成电路(宁波)有限公司 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;H01L23/31;H01L23/544;H01L25/18 |
代理公司: | 上海知锦知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31327 | 代理人: | 潘彦君 |
地址: | 315800 浙江省宁波市北*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 器件 封装 方法 结构 | ||
1.一种器件封装方法,其特征在于,包括:
提供衬底,并在所述衬底的同一表面固定条形伪芯片和器件芯片,固定有所述条形伪芯片和器件芯片的表面为所述衬底的正面,所述条形伪芯片将所述衬底的正面分割成至少两个区域,所述条形伪芯片高于所述器件芯片;
对所述衬底进行封塑工艺,形成覆盖所述器件芯片和所述条形伪芯片的封塑层;
对所述封塑层进行研磨,露出所述条形伪芯片。
2.根据权利要求1所述的器件封装方法,其特征在于,所述在所述衬底的同一表面固定条形伪芯片的步骤包括:
在所述衬底的正面,将所述条形伪芯片固定于所述器件芯片之间的间隙内。
3.根据权利要求1所述的器件封装方法,其特征在于,所述在所述衬底的同一表面固定条形伪芯片的步骤包括:
所述条形伪芯片包括端部,使所述端部与所述衬底的边界相接。
4.根据权利要求1所述的器件封装方法,其特征在于,所述在所述衬底的同一表面固定条形伪芯片的步骤包括:
所述条形伪芯片将所述衬底的正面分割成多个区域,所述多个区域的面积相等,或者多个区域的面积比在0.9~1.1的范围内。
5.根据权利要求1所述的器件封装方法,其特征在于,所述在所述衬底的同一表面固定条形伪芯片和器件芯片的步骤包括:多个器件芯片在所述衬底的正面进行矩阵式排布,并在所述衬底的正面设置多个条形伪芯片,包括:相互平行的第一条形伪芯片和第二条形伪芯片,沿矩阵行向排布且贯穿衬底;相互平行的第三条形伪芯片和第四条形伪芯片,沿矩阵列向排布且位于所述第一条形伪芯片和第二条形伪芯片之间。
6.根据权利要求1所述的器件封装方法,其特征在于,所述条形伪芯片的热膨胀系数与所述衬底的热膨胀系数相等,或者所述条形伪芯片与所述衬底的热膨胀系数比在0.9~1.1。
7.根据权利要求1所述的器件封装方法,其特征在于,所述条形伪芯片比所述器件芯片高30至50微米。
8.根据权利要求1所述的器件封装方法,其特征在于,所述条形伪芯片的宽度小于或等于所述器件芯片排布的间隔距离。
9.根据权利要求1至7任一项所述的器件封装方法,其特征在于,所述在所述衬底的同一表面固定条形伪芯片和器件芯片,包括:
将所述条形伪芯片和器件芯片粘贴于所述衬底的正面。
10.一种器件封装结构,包括衬底,器件芯片和封塑层,其特征在于,所述器件芯片固定于所述衬底的同一表面,固定有所述器件芯片的表面为所述衬底的正面,所述封塑层覆盖所述器件芯片和衬底的正面,所述器件封装结构还包括:固定于所述衬底的正面的条形伪芯片,所述条形伪芯片将所述衬底的正面分割成至少两个区域,所述条形伪芯片高于所述器件芯片,并且所述条形伪芯片位于所述封塑层中,且从所述封塑层表面露出。
11.根据权利要求10所述的器件封装结构,其特征在于,所述条形伪芯片固定于所述器件芯片之间的间隙内。
12.根据权利要求10所述的器件封装结构,其特征在于,所述条形伪芯片的端部与所述衬底的边界相接。
13.根据权利要求10所述的器件封装结构,其特征在于,所述条形伪芯片将所述衬底的正面分割成多个区域,所述多个区域的面积相等,或者多个区域的面积比在0.9~1.1的范围内。
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