[发明专利]一种基于柔性光电纳米薄膜的非接触式位移传感器

权利要求书

1.一种基于柔性光电纳米薄膜的非接触式位移传感器，其特征在于，将所述的位移传感器固定在桥梁的跨中的表面，激光光源设置在所述的位移传感器的正下方，当所述的桥梁产生挠度后，所述的位移传感器随着桥梁一同发生位移，从而导致输出电流产生相应变化，设所述的桥梁变形前，所述的激光光源与位移传感器的距离为L1，输出电流为I₁，所述的桥梁变形后，所述的激光光源与位移传感器的距离为L2，输出电流为I₂，则位移传感器输出电流与桥梁挠度的对应关系如下：

其中，ΔL(t)为挠度，L(t)为激光传输距离，e为单电子电荷量，ε是材料的介电常数，I(t)为输出电流，ΔI为出射光强与背景光强的差值，α和β分别为材料的光吸收系数与量子效率，k为空气中的衰减系数，n_i为本征载流子浓度，τ_n0和τ_p0分别为电子和空穴的寿命。

2.根据权利要求1所述的基于柔性光电纳米薄膜的非接触式位移传感器，其特征在于，所述的激光光源的波长为680nm。

3.根据权利要求1所述的基于柔性光电纳米薄膜的非接触式位移传感器，其特征在于，激光垂直照射在位移传感器上。