[发明专利]一种水溶液显影的干膜光阻剂

权利要求书

1.一种水溶液显影的干膜光阻剂，其特征在于，包含以下组分：

丙烯酸酯粘合剂A，环氧丙烯酸酯B1，聚氨酯丙烯酸酯B2，光固化单体B3，自由基引发剂C，活性单体D，N-苯基甘氨酸，增塑剂，紫外光吸收剂，热聚合抑制剂；

其中，所述环氧丙烯酸酯B1占所述干膜光阻剂总质量的1％～15％，所述环氧丙烯酸酯B1中碳碳双键含量为1～30mol；

其中，所述聚氨酯丙烯酸酯B2占所述干膜光阻剂总质量的1％～15％，所述聚氨酯丙烯酸酯B2中碳碳双键含量为1～30mol；

其中，所述活性单体D的结构式为：

其中，X表示-CH₂CH₂O-，Y表示-CH₂-CH(CH₃)O-或/和-CH(CH₃)CH₂O-；m为1～25的整数，n为1～25的整数。

2.根据权利要求1所述的干膜光阻剂，其特征在于，所述丙烯酸酯粘合剂A由60wt％的甲基丙烯酸酯，18wt％的甲基丙烯酸以及22wt％的丙烯酸正丁酯在丁酮溶剂中聚合而成。

3.根据权利要求1所述的干膜光阻剂，其特征在于，所述光固化单体B3包含以下任一种或多种多官能团单体：三羟甲基丙烷三甲基丙烯酸酯，三羟甲基丙烷三丙烯酸酯，三乙二醇二丙烯酸酯，二缩三丙二醇二丙烯酸酯，1,6-己二醇二丙烯酸酯，季戊四醇三丙烯酸酯，季戊四醇四丙烯酸酯，二季戊四醇六丙烯酸酯。

4.根据权利要求1所述的干膜光阻剂，其特征在于，所述自由基引发剂C为双咪唑引发剂BCIM。

5.根据权利要求1所述的干膜光阻剂，其特征在于，所述增塑剂选自以下任一种：柠檬酸三丁酯，乙酰柠檬酸三丁酯，邻苯二甲酸二(2-乙基己)酯，邻苯二甲酸二辛酯，邻苯二甲酸丁苄酯，邻苯二甲酸二仲辛酯，邻苯二甲酸二环己酯，邻苯二甲酸二丁酯，邻苯二甲酸二异丁酯，邻苯二甲酸二甲酯，邻苯二甲酸二乙酯，邻苯二甲酸二异壬酯，邻苯二甲酸二异癸酯。

6.根据权利要求1所述的干膜光阻剂，其特征在于，所述增塑剂占所述干膜光阻剂总质量的0.9％～1.1％。

7.根据权利要求1所述的干膜光阻剂，其特征在于，所述紫外光吸收剂占所述干膜光阻剂总质量的0.05～2.5％。

8.根据权利要求1所述的干膜光阻剂，其特征在于，所述干膜光阻剂还包含添加剂。

9.根据权利要求8所述的干膜光阻剂，其特征在于，所述添加剂选自以下任一种或多种：隐色染料，底色染料，附着力促进剂，抗氧剂。

10.根据权利要求1所述的干膜光阻剂，其特征在于，所述热聚合抑制剂选自以下任一种：对甲氧基苯酚，特丁基邻苯二酚，邻苯三酚，β-萘酚，2，6-二特丁基-对甲苯酚，2，2’-亚甲基-二(4-乙基-6-特丁基苯酚)。