[发明专利]一种套孔法结合十字线扫描的激光光束发散角测量方法

权利要求书

1.一种套孔法结合十字线扫描的激光光束发散角测量方法，其特征在于，包括：

激光器发射激光光束，在所述激光器的输出光路中，设置离轴抛物面镜，并在所述离轴抛物面镜焦点处设置小孔光阑面板；

采用小孔光阑面板针对所述激光光束进行扫描，所述小孔光阑面板上具备按照直径由大到小排列的小孔，取直径小于设定直径阈值的小孔作为十字扫描小孔，利用所述十字扫描小孔对所述激光光束进行十字线扫描，具体过程如下：

设定水平方向为X方向，垂直于X的方向为Y方向；沿X方向移动所述十字扫描小孔不少于20次，总移动距离占所述十字扫描小孔直径的80％以上，每移动一次测量一次激光光束透过所述十字扫描小孔的能量值，取X方向能量值最大值对应的位置作为Y方向扫描起点，从所述Y方向扫描起点开始，沿Y方向移动所述十字扫描小孔不少于20次，总移动距离占所述十字扫描小孔直径的80％以上，每移动一次测量一次激光光束透过所述十字扫描小孔的能量值，取Y方向能量值最大值作为所述激光光束透过所述十字扫描小孔的最终能量值；

判断所述最终能量值与所述激光光束能量的1/e²之间的差值是否小于设定的误差阈值；若是，则根据当前十字扫描小孔的半径r计算所述激光光束的发散角；否则，选取下一个直径更小的小孔作为十字扫描小孔，并再次对所述激光光束进行十字线扫描直至获得所述激光光束的发散角。

2.如权利要求1所述的测量方法，其特征在于，所述小孔光阑面板上具备按照直径由大到小排列的小孔，具体：

根据待测激光光束的发散角范围，计算小孔的直径范围，在所述小孔光阑面板上，对于直径小于1mm的小孔，相邻小孔直径差不超过0.1mm。

3.如权利要求1或2所述的测量方法，其特征在于，所述离轴抛物面镜焦距为2m时，所述设定直径阈值为0.6mm。

4.如权利要求1或2所述的测量方法，其特征在于，所述离轴抛物面镜焦距为1m时，所述设定直径阈值为0.3mm。