[发明专利]一种除去三氟化氮中氧化亚氮的装置及方法

权利要求书

1.一种除去三氟化氮中氧化亚氮的装置，其特征在于：所述装置包括填料吸收塔、真空解吸水罐、真空泵以及水泵；

填料吸收塔顶部设有NF₃出口和喷淋口，中下部设有原料气进口，底部设有N₂O溶液出口；

真空解吸水罐的顶部设有真空口，中部设有进料口，底部设有出水口；

填料吸收塔的N₂O溶液出口与真空解吸水罐的进料口连接；水泵的两端分别与真空解吸水罐的出水口、填料吸收塔的喷淋口对应连接；真空泵与真空解吸水罐的真空口连接。

2.根据权利要求1所述的一种除去三氟化氮中氧化亚氮的装置，其特征在于：填料吸收塔中填料的等效直径不大于填料吸收塔直径的十分之一。

3.根据权利要求2所述的一种除去三氟化氮中氧化亚氮的装置，其特征在于：填料吸收塔中填料的等效直径为10mm～50mm。

4.根据权利要求1所述的一种除去三氟化氮中氧化亚氮的装置，其特征在于：填料吸收塔中的填料为鲍尔环、θ环或拉西环。

5.根据权利要求1所述的一种除去三氟化氮中氧化亚氮的装置，其特征在于：真空解吸水罐为卧式容器，长径比为(2～10)：1；进料口位于真空解吸水罐的一端，真空口位于进料口一端的上部，出水口位于真空解吸水罐另一端的下部。

6.一种采用如权利要求1至5任一项所述的装置除去三氟化氮中氧化亚氮的方法，其特征在于：所述方法步骤如下，

含有N₂O杂质的NF₃粗品气从原料气进口进入填料吸收塔中，同时真空解吸水罐中的水在水泵的作用下通过喷淋口进入填料吸收塔中，NF₃粗品气中的N₂O气体被水吸收后形成N₂O溶液，NF₃粗品气中未被水吸收的NF₃气体通过NF₃出口进行收集，N₂O溶液通过N₂O溶液出口流出填料吸收塔并通过进料口进入真空解吸水罐，在真空条件下N₂O气体从N₂O溶液中解吸出来，解吸出来的N₂O气体在真空泵的作用下通过真空口排出真空解吸水罐；

其中，进入填料吸收塔的水流量与进入填料吸收塔的NF₃粗品气流量比为(2～10):1，真空解吸水罐内表压为(-0.0995～-0.095)MPa。

7.根据权利要求6所述的一种除去三氟化氮中氧化亚氮的方法，其特征在于：填料吸收塔中NF₃粗品气空速为(10～100)h^-1。

8.根据权利要求6所述的一种除去三氟化氮中氧化亚氮的方法，其特征在于：填料吸收塔内表压为(0～0.4)MPa。

9.根据权利要求6所述的一种除去三氟化氮中氧化亚氮的方法，其特征在于：真空解吸水罐内水的温度为(0～30)℃。

10.根据权利要求6所述的一种除去三氟化氮中氧化亚氮的方法，其特征在于：NF₃粗品气中N₂O气体的浓度为100ppm～1000ppm。