[发明专利]一种电子气体存储用钢瓶的处理方法在审

专利信息
申请号: 201911387011.9 申请日: 2019-12-29
公开(公告)号: CN111041403A 公开(公告)日: 2020-04-21
发明(设计)人: 张长金;王占卫;杨万吉;张琴;王云飞;张净普;李国伟;李丹丹 申请(专利权)人: 中船重工(邯郸)派瑞特种气体有限公司
主分类号: C23C8/08 分类号: C23C8/08;C23C8/02;C25F3/24
代理公司: 北京理工大学专利中心 11120 代理人: 周蜜
地址: 057550 河北省邯*** 国省代码: 河北;13
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摘要:
搜索关键词: 一种 电子 气体 存储 钢瓶 处理 方法
【权利要求书】:

1.一种电子气体存储用钢瓶的处理方法,其特征在于:所述步骤如下:

(1)对所述钢瓶进行电解抛光,使得所述钢瓶的表面粗糙度降低至0.3μm以下;

(2)对电解抛光后的钢瓶在100℃~200℃进行烘烤;对烘烤的钢瓶抽真空至绝对压力≤0.1Pa,并持续保持烘烤的温度8h~24h;

(3)将钝化气体通入烘烤中的钢瓶中,并在80℃~100℃下存放8d~15d,在钢瓶内壁充分形成钝化膜;

(4)对形成钝化膜的钢瓶抽真空至钢瓶的绝对压力≤0.1Pa;向钢瓶内通入氦气或氩气进行吹扫、置换,完成处理;

步骤(3)中:

所述钝化气体为纯度99%以上的F2、WF6或SiF4

步骤(4)中:

氦气的纯度为99.999%;氩气的纯度为99.999%。

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