[发明专利]一种电子气体存储用钢瓶的处理方法在审
申请号: | 201911387011.9 | 申请日: | 2019-12-29 |
公开(公告)号: | CN111041403A | 公开(公告)日: | 2020-04-21 |
发明(设计)人: | 张长金;王占卫;杨万吉;张琴;王云飞;张净普;李国伟;李丹丹 | 申请(专利权)人: | 中船重工(邯郸)派瑞特种气体有限公司 |
主分类号: | C23C8/08 | 分类号: | C23C8/08;C23C8/02;C25F3/24 |
代理公司: | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人: | 周蜜 |
地址: | 057550 河北省邯*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 电子 气体 存储 钢瓶 处理 方法 | ||
1.一种电子气体存储用钢瓶的处理方法,其特征在于:所述步骤如下:
(1)对所述钢瓶进行电解抛光,使得所述钢瓶的表面粗糙度降低至0.3μm以下;
(2)对电解抛光后的钢瓶在100℃~200℃进行烘烤;对烘烤的钢瓶抽真空至绝对压力≤0.1Pa,并持续保持烘烤的温度8h~24h;
(3)将钝化气体通入烘烤中的钢瓶中,并在80℃~100℃下存放8d~15d,在钢瓶内壁充分形成钝化膜;
(4)对形成钝化膜的钢瓶抽真空至钢瓶的绝对压力≤0.1Pa;向钢瓶内通入氦气或氩气进行吹扫、置换,完成处理;
步骤(3)中:
所述钝化气体为纯度99%以上的F2、WF6或SiF4;
步骤(4)中:
氦气的纯度为99.999%;氩气的纯度为99.999%。
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