[发明专利]一种掩模工艺用多层上料盒在审
申请号: | 201911390366.3 | 申请日: | 2019-12-29 |
公开(公告)号: | CN110941137A | 公开(公告)日: | 2020-03-31 |
发明(设计)人: | 刘浩;刘维维;杨东海;杨长华;汪志得;张月圆;韦庆宇;莫金圻;薛文卿;顾梦星 | 申请(专利权)人: | 无锡中微掩模电子有限公司 |
主分类号: | G03F1/68 | 分类号: | G03F1/68;G03F1/66 |
代理公司: | 连云港联创专利代理事务所(特殊普通合伙) 32330 | 代理人: | 谷金颖 |
地址: | 214000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 工艺 多层 上料盒 | ||
1.一种掩模工艺用多层上料盒,包括掩模工艺用上料盒盒体(4),其特征在于:所述掩模工艺用上料盒盒体(4)的前表面设置有盒体挡片(1),且所述掩模工艺用上料盒盒体(4)的内侧分别开设有两个下掩膜版放置腔(2)和两个上掩膜版放置腔(3),每个所述下掩膜版放置腔(2)均位于上掩膜版放置腔(3)的正下方。
2.根据权利要求1所述的一种掩模工艺用多层上料盒,其特征在于:所述盒体挡片(1)与掩模工艺用上料盒盒体(4)之间通过铰轴铰接,且所述盒体挡片(1)呈L型结构。
3.根据权利要求1所述的一种掩模工艺用多层上料盒,其特征在于:所述掩模工艺用上料盒盒体(4)的上表面固定安装有下置固定板(5),所述下置固定板(5)的顶部固定安装有上置固定板(6)。
4.根据权利要求3所述的一种掩模工艺用多层上料盒,其特征在于:所述下置固定板(5)与上置固定板(6)为一体成型结构,且所述下置固定板(5)呈T型结构,所述上置固定板(6)呈L型结构。
5.根据权利要求1所述的一种掩模工艺用多层上料盒,其特征在于:所述上掩膜版放置腔(3)兼容6寸掩模版,其尺寸为15.24cm*15.24cm。
6.根据权利要求1所述的一种掩模工艺用多层上料盒,其特征在于:所述下掩膜版放置腔(2)兼容5寸掩模版,其尺寸为12.7cm*12.7cm。
7.根据权利要求1所述的一种掩模工艺用多层上料盒,其特征在于:两个所述上掩膜版放置腔(3)的高度为3.5cm,两个所述下掩膜版放置腔(2)的高度为3.5cm,且相邻两个所述下掩膜版放置腔(2)与上掩膜版放置腔(3)的高度为3.5cm。
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