[发明专利]一种掩模工艺用多层上料盒在审

专利信息
申请号: 201911390366.3 申请日: 2019-12-29
公开(公告)号: CN110941137A 公开(公告)日: 2020-03-31
发明(设计)人: 刘浩;刘维维;杨东海;杨长华;汪志得;张月圆;韦庆宇;莫金圻;薛文卿;顾梦星 申请(专利权)人: 无锡中微掩模电子有限公司
主分类号: G03F1/68 分类号: G03F1/68;G03F1/66
代理公司: 连云港联创专利代理事务所(特殊普通合伙) 32330 代理人: 谷金颖
地址: 214000 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 工艺 多层 上料盒
【权利要求书】:

1.一种掩模工艺用多层上料盒,包括掩模工艺用上料盒盒体(4),其特征在于:所述掩模工艺用上料盒盒体(4)的前表面设置有盒体挡片(1),且所述掩模工艺用上料盒盒体(4)的内侧分别开设有两个下掩膜版放置腔(2)和两个上掩膜版放置腔(3),每个所述下掩膜版放置腔(2)均位于上掩膜版放置腔(3)的正下方。

2.根据权利要求1所述的一种掩模工艺用多层上料盒,其特征在于:所述盒体挡片(1)与掩模工艺用上料盒盒体(4)之间通过铰轴铰接,且所述盒体挡片(1)呈L型结构。

3.根据权利要求1所述的一种掩模工艺用多层上料盒,其特征在于:所述掩模工艺用上料盒盒体(4)的上表面固定安装有下置固定板(5),所述下置固定板(5)的顶部固定安装有上置固定板(6)。

4.根据权利要求3所述的一种掩模工艺用多层上料盒,其特征在于:所述下置固定板(5)与上置固定板(6)为一体成型结构,且所述下置固定板(5)呈T型结构,所述上置固定板(6)呈L型结构。

5.根据权利要求1所述的一种掩模工艺用多层上料盒,其特征在于:所述上掩膜版放置腔(3)兼容6寸掩模版,其尺寸为15.24cm*15.24cm。

6.根据权利要求1所述的一种掩模工艺用多层上料盒,其特征在于:所述下掩膜版放置腔(2)兼容5寸掩模版,其尺寸为12.7cm*12.7cm。

7.根据权利要求1所述的一种掩模工艺用多层上料盒,其特征在于:两个所述上掩膜版放置腔(3)的高度为3.5cm,两个所述下掩膜版放置腔(2)的高度为3.5cm,且相邻两个所述下掩膜版放置腔(2)与上掩膜版放置腔(3)的高度为3.5cm。

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