[发明专利]熔断反熔丝元件的方法

说明书

本发明公开了一种熔断反熔丝元件的方法。接收反熔丝元件，反熔丝元件包括第一导体、第二导体和设置在第一导体和第二导体之间的介电层，其中介电层具有崩溃电压。在第一时段内，施加第一电压于第一导体与第二导体之间，其中第一电压小于崩溃电压。在施加第一电压之后，在第二时段内，施加第二电压于第一导体与第二导体之间，以熔断反熔丝元件，其中第二电压大于崩溃电压。在施加电压以熔断反熔丝元件前，施加至少另一个小于介电层的崩溃电压的电压以在导体上累积电荷，对于熔断反熔丝元件是有利的，因此通过上述的方法，反熔丝元件可以具有稳定且足够低的崩溃后电阻。

技术领域

本发明是关于一种熔断反熔丝元件的方法。

背景技术

集成电路(Integrated circuit，IC)装置通常在制造过程中完成所有的内部连接。然而，由于制造这种集成电路的制造时间长、开发成本高及制造工具成本高，用户会希望能够可以在工厂内编程或安装电路。这种电路称为可编程电路(programmablecircuits)，通常包括可编程连结物(programmable links)。可编程连结物是在制造和封装集成电路装置后，为用户于经选定的节点处崩溃或形成的导电内连物，以启动或关闭各个经选定的电子节点。

可编程连结物的其中一类是熔丝元件(fuse element)。在IC装置中，通过在选定的交叉点处熔断熔丝元件来编程电路以产生开路(open circuit)。此外，另一种类型的可编程连结物是反熔丝元件(antifuse element)，其执行与熔丝元件相反的功能。反熔丝元件起始自高电阻，被设计以形成永久的导电路径。更具体地，通过在选定的交叉点处熔断反熔丝元件对其进行编程，以在其中产生短路(short circuit)或相对低电阻的连结。然而，在传统的熔断工艺之后，反熔丝元件通常具有不稳定的崩溃后电阻(post-breakdownresistance)。鉴于上述，需要提供一种熔断反熔丝元件的新方法。

发明内容

本发明的目的在于提供一种熔断反熔丝元件的方法，其反熔丝元件可以具有稳定且足够低的崩溃后电阻。

本发明提供一种熔断反熔丝元件的方法。接收反熔丝元件，反熔丝元件包括第一导体、第二导体和设置在第一导体和第二导体之间的介电层，其中介电层具有崩溃电压。在第一时段内，施加第一电压于第一导体与第二导体之间，其中第一电压小于崩溃电压。在施加第一电压之后，在第二时段内，施加第二电压于第一导体与第二导体之间，以熔断反熔丝元件，其中第二电压大于崩溃电压。

在一些实施方式中，在第一时段内，第一电压是定值。

在一些实施方式中，在第二时段内，第二电压是定值。

在一些实施方式中，第二时段紧接在第一时段之后。

在一些实施方式中，第一时段等于第二时段。

在一些实施方式中，第一时段大于第二时段。

在一些实施方式中，在施加第一电压之后并且在施加第二电压之前，还包括在第三时段内，施加第三电压于第一导体与第二导体之间，其中第三电压介于第一电压和崩溃电压之间。

在一些实施方式中，在第三时段内，第三电压是定值。

在一些实施方式中，第一时段、第二时段和第三时段是相等的。

在一些实施方式中，第一时段大于第三时段，第三时段大于第二时段。

在一些实施方式中，第二时段等于第一时段和第三时段的总时段。

在一些实施方式中，第二时段大于第一时段和第三时段中的每一个。

在一些实施方式中，第一电压是崩溃电压的35％-45％，第三电压是崩溃电压的75％-85％，第二电压是崩溃电压的115％-125％。