[发明专利]用于下部电极的电极棒及其制造方法

权利要求书

1.一种用于下部电极的电极棒，其特征在于：包括钛棒(1)，以及用于固定所述钛棒(1)的底座(2)，所述钛棒(1)包括呈柱状结构的棒身(10)，所述棒身(10)的两端分别设有棒头(11)和棒尾(12)，所述棒头(11)和棒尾(12)与棒身(10)同轴设置，且沿棒身(10)的长度方向向外延伸，所述棒尾(12)与棒身(10)之间具有卡接部(13)，所述底座(2)上具有与该卡接部(13)匹配的卡槽(20)，以及与棒尾(12)相适应的过孔(21)，所述棒身(10)、棒头(11)和卡接部(13)的周向侧壁表面，以及棒身(10)远离棒尾(12)的一端端面均熔射有绝缘涂层。

2.根据权利要求1所述的用于下部电极的电极棒，其特征在于：所述绝缘涂层为YAG粉末涂层。

3.根据权利要求1或2所述的用于下部电极的电极棒，其特征在于：所述绝缘涂层厚度为1000～1200um。

4.根据权利要求1所述的用于下部电极的电极棒，其特征在于：所述卡接部(13)呈圆盘状，其外缘为光滑弧面结构。

5.一种电极棒的制造方法，其特征在于，按如下步骤进行：

S1、确定钛棒(1)的喷砂区域，并对非喷砂区域进行遮蔽，然后进行喷砂处理，所述喷砂区域为棒身(10)、棒头(11)和卡接部(13)的周向侧壁表面，以及棒身(10)远离棒尾(12)的一端端面；

S2、根据喷砂区域确定钛棒(1)的熔射区域，并对非熔射区域进行遮蔽，然后在熔射区域进行粉末熔射形成绝缘涂层；

S3、将具有绝缘涂层的钛棒(1)浸泡于封孔剂中，进行封孔操作；

S4、对封孔之后的钛棒(1)进行研磨；

S5、根据尺寸进行切割，并复核尺寸及质量参数。

6.根据权利要求5所述的电极棒的制造方法，其特征在于：所述步骤S1中，喷砂用的砂种为白刚玉，喷砂结束之后，钛棒(1)喷砂区域表面的粗糙度为3～5um。

7.根据权利要求5所述的电极棒的制造方法，其特征在于：所述步骤S2中，熔射厚度为1300～1500um，熔射电弧电压为35～38V，电弧电流800～900A，熔射距离为90～130mm，所述步骤S4中研磨厚度为100～500um。

8.根据权利要求5或7所述的电极棒的制造方法，其特征在于：所述步骤S2中，熔射粉末为YAG粉末，所述YAG粉末颗粒为球状，其粒径为10～55um。

9.根据权利要求5所述的电极棒的制造方法，其特征在于：所述步骤S3中，将钛棒(1)静置于40～60℃的环境下进行封孔1～2小时。

10.根据权利要求5所述的电极棒的制造方法，其特征在于：所述步骤S1和步骤S2中均采用旋转工作台(3)进行操作，所述旋转工作台(3)包括机架(31)和至少一个夹紧座(32)，所述夹紧座(32)以可转动方式安装在所述机架(31)上，所述夹紧座(32)具有用于夹紧待加工产品的夹紧结构，所述机架(31)上设有用于驱动所述夹紧座(32)水平旋转的驱动电机(33)。