[发明专利]一种多用碳化硅晶片传输机械手

权利要求书

1.一种多用碳化硅晶片传输机械手，其特征在于:包括：

衬板；

左右对称设置的主传动齿轮和副传动齿轮，所述主传动齿轮和所述副传动齿轮相互啮合，所述主传动齿轮和所述副传动齿轮可转动连接在所述衬板上，所述衬板下方与所述主传动齿轮和所述副传动齿轮对应的位置处分别设有主后辅臂和副后辅臂，所述主后辅臂和副后辅臂可转动连接在所述衬板下方；

动力输入模块，所述动力输入模块固定安装在所述衬板上，所述动力输入模块给所述主传动齿轮提供动力输入带动所述主传动齿轮转动；

左右对称设置的主抓取臂和副抓取臂，所述主抓取臂设置在所述主传动齿轮末端和所述主后辅臂末端之间与所述主传动齿轮和所述主后辅臂铰接，所述副抓取臂设置在所述副传动齿轮末端和所述副后辅臂末端之间与所述副传动齿轮和所述副后辅臂铰接；所述主抓取臂和所述副抓取臂末端设有内部中空的腔体，直径调节模块包括设置在主抓取臂和所述副抓取臂末端中部上下贯穿的丝杆套筒，所述丝杆套筒中设有双向旋向丝杆，左舌和右舌分别交叉铰接在所述丝杆套筒上安装在所述主抓取臂和副抓取臂的中空腔体中，所述双向旋向丝杆的上下两端分别缠绕第一钢丝绳和第二钢丝绳，所述丝杆套筒上分别设有固定所述第一钢丝绳和所述第二钢丝绳的安装孔，所述第一钢丝绳的另一端固定在左舌末端，所述第二钢丝绳的另一端固定在右舌的末端，在所述左舌和右舌枢接处设有使所述左舌和右舌向内夹紧的复位元件

左右对称设置的一对主前辅臂和副前辅臂，所述主前辅臂包括主上前辅臂和主下前辅臂，所述主上前辅臂和主下前辅臂的一端分别铰接在所述衬板的上表面和下表面，另一端分别铰接在所述主抓取臂中部的上端和下端，所述副前辅臂包括副上前辅臂和副下前辅臂，所述副上前辅臂和副下前辅臂的一端分别铰接在所述衬板的上表面和下表面，另一端分别铰接在所述副抓取臂中部的上端和下端；

直径调节模块，所述直径调节模块分别安装在所述主抓取臂和所述副抓取臂的末端；

还包括L形支架，所述L形支架一端垂直固定安装在所述衬板上，另一端平行于所述衬板，所述L形支架设置在主抓取臂和副抓取臂之间，所述L形支架末端底部连接安装底座，所述L形支架和安装底座之间通过高度调节装置连接，所述高度调节装置可以调节所述安装底座与所述L形支架之间的高度，所述安装底座底部设有圆心检测模块和晶片拾取模块。

2.根据权利要求1所述的一种多用碳化硅晶片传输机械手，其特征在于：还包括抓取臂回弹机构，所述抓取臂回弹结构安装在主前辅臂与主抓取臂枢接处与副前辅臂与副抓取臂枢接处之间。

3.根据权利要求1所述的一种多用碳化硅晶片传输机械手，其特征在于：所述抓取臂回弹机构包括两端的固定座，以及安装在所述固定座之间的弹簧，两端所述的固定座分别固定在主前辅臂与主抓取臂枢接处和副前辅臂与副抓取臂枢接处。

4.根据权利要求1所述的一种多用碳化硅晶片传输机械手，其特征在于：所述高度调节装置的两端分别安装在所述L形支架末端中心位置和所述安装底座的中间位置，所述安装底座包括固定安装在所述L形支架上的螺母以及底部与所述安装底座固接的螺杆，所述螺杆穿过设置在所述述L形支架末端中心位置的通孔与所述螺母螺纹连接,所述安装底座与所述L形支架末端之间还设有弹性元件，所述弹性元件设置在所述高度调节装置的四周。

5.根据权利要求1所述的一种多用碳化硅晶片传输机械手，其特征在于所述：所述晶片拾取模块包括吸附盘、橡胶盘、吸附真空气道、密封底盘，所述密封底盘与吸附盘相连，吸附盘周边围绕一层橡胶盘；密封底盘，吸附盘与橡胶盘中间有吸附真空气道用于抽取橡胶盘内空气。

6.根据权利要求5所述的一种多用碳化硅晶片传输机械手，其特征在于：所述圆心检测模块包括设置在所述晶片拾取模块四周的超声波传感器的安装孔以及安装在所述安装孔中的超声波传感器。

7.根据权利要求1所述的一种多用碳化硅晶片传输机械手，其特征在于：所述双向旋向丝杆包括中部的双旋对称面以及分别设置在所述双旋对称面两侧的旋向相反的左旋螺纹和右旋螺纹。

8.根据权利要求1所述的一种多用碳化硅晶片传输机械手，其特征在于：所述动力输入模块包括驱动机构和减速器，所述减速器固定安装在所述衬板上，所述驱动机构通过减速器与所述主传动齿轮连接驱动所述主传动齿轮发生转动。