[发明专利]光波导及其制备方法

权利要求书

1.一种光波导的制备方法，包括：

通过第一辅助层在第一方向上提供第一间隔，并在所述第一间隔中形成第一光限制层；

通过第二辅助层在所述第一光限制层上在所述第一方向上提供第二间隔，并在所述第二间隔中形成光传输层，其中，在所述第一方向上，所述第二间隔位于所述第一间隔的边缘的内侧，且所述第二间隔的尺寸小于所述第一间隔的尺寸；

去除所述第二辅助层；

通过第三辅助层在所述第一辅助层上在所述第一方向上提供第三间隔，并在所述第三间隔中形成第二光限制层，其中，在所述第一方向上，所述第二间隔位于所述第三间隔的边缘的内侧，并且所述第一光限制层和所述第二光限制层包裹所述光传输层，

其中，所述第一光限制层和所述第二光限制层的折射率均小于所述光传输层的折射率；

在所述第一间隔中形成所述第一光限制层包括：在所述第一间隔中施加第一光限制层材料，对所述第一光限制层材料进行固化处理形成所述第一光限制层；

在对所述第一光限制层材料进行所述固化处理之前，还包括对所述第一光限制层材料进行抽真空处理；

第二方向垂直于所述第一方向，且所述第一方向和所述第二方向所在的平面垂直于所述第一光限制层的厚度方向，沿着所述第二方向，所述第一光限制层材料包括相对的第一端和第二端，所述抽真空处理包括：在所述第一光限制层材料的所述第一端形成封装薄膜，对所述第一光限制层材料的所述第一端形成负压以抽取所述第一光限制层材料中的气泡，且在所述第一光限制层材料的所述第二端施加附加的第一光限制层材料。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其中，所述第一间隔、所述第二间隔和所述第三间隔均具有沿所述第二方向延伸的条形形状。

3.根据权利要求2所述的制备方法，其中，所述第一间隔的沿所述第二方向的长度大于或者等于所述第二间隔的沿所述第二方向的长度，所述第二间隔的沿所述第二方向的长度小于或者等于所述第三间隔的沿所述第二方向的长度。

4.根据权利要求2或3所述的制备方法，其中，

在所述第二辅助层的所述第二间隔中形成所述光传输层包括：在所述第二间隔中施加光传输层材料，对所述光传输层材料进行固化处理形成所述光传输层。

5.根据权利要求4所述的制备方法，其中，

在对所述光传输层材料进行所述固化处理之前，还包括对所述光传输层材料进行抽真空处理。

6.根据权利要求5所述的制备方法，其中，沿着所述第二方向，所述光传输层材料包括相对的第一端和第二端，所述抽真空处理包括：

对所述光传输层材料的所述第一端形成负压以抽取所述光传输层材料中的气泡，在所述光传输层材料的所述第二端施加附加的光传输层材料。

7.根据权利要求6所述的制备方法，其中，在对所述光传输层材料进行所述固化处理之前，且在进行所述抽真空处理之后，形成所述光传输层还包括：在所述光传输层材料的所述第一端形成光导入部件，在所述光传输层材料的所述第二端形成光导出部件。

8.根据权利要求2所述的制备方法，其中，在所述第三辅助层的所述第三间隔中形成所述第二光限制层包括：在所述第三间隔中施加第二光限制层材料，对所述第二光限制层材料进行固化处理形成所述第二光限制层。

9.根据权利要求8所述的制备方法，其中，在对所述第二光限制层材料进行所述固化处理之前还包括在所述第二光限制层材料的露出的表面处形成负压以抽取所述第二光限制层材料中的气泡，在所述第二光限制层材料的沿着所述第二方向的两端处施加附加的第二光限制层材料。