[发明专利]存储器失效点的定位方法有效
| 申请号： | 201911393029.X | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN111063388B | 公开（公告）日： | 2021-12-17 |
| 发明（设计）人： | 徐静;王君易;刘慧丽;卜丽丽 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G11C29/56 | 分类号： | G11C29/56;G11C29/04 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 董琳;高翠花 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 存储器 失效 定位 方法 | ||
1.一种存储器失效点的定位方法，其特征在于，包括如下步骤：
初步定位失效点，获得失效点的初始位置；
将失效点的初始位置所在区域标定为目标区域；
去除所述目标区域表面的金属层；
对不具有金属层的目标区域再次定位失效点，获得失效点的最终位置。
2.根据权利要求1所述的存储器失效点的定位方法，其特征在于，在初步定位失效点的步骤中，采用激光定位的方法定位所述失效点。
3.根据权利要求1所述的存储器失效点的定位方法，其特征在于，将失效点的初始位置所在区域标定为目标区域的方法为：
对失效点的初始位置所在区域表面进行标记，以将其与不具有失效点的区域进行区分。
4.根据权利要求3所述的存储器失效点的定位方法，其特征在于，对失效点的初始位置所在区域表面进行物理或者化学处理，以对失效点的初始位置所在区域表面进行标记。
5.根据权利要求3所述的存储器失效点的定位方法，其特征在于，对失效点的初始位置所在区域表面进行激光轰击，该区域表面的介质层碳化变色，以对失效点的初始位置所在区域表面进行标记。
6.根据权利要求5所述的存储器失效点的定位方法，其特征在于，在去除所述目标区域表面的金属层的步骤之前还包括如下步骤：移除被碳化的介质层。
7.根据权利要求1所述的存储器失效点的定位方法，其特征在于，所述失效点的初始位置所在区域由自所述失效点的初始位置向外扩大一预设距离而形成。
8.根据权利要求1所述的存储器失效点的定位方法，其特征在于，在去除所述目标区域的金属层的步骤之前，还包括如下步骤：在所述目标区域周围不具有失效点的区域覆盖保护层，所述保护层至少覆盖不具有失效点的区域的金属层。
9.根据权利要求1所述的存储器失效点的定位方法，其特征在于，在再次定位失效点的步骤中，采用激光定位的方法再次定位所述失效点。
10.根据权利要求1所述的存储器失效点的定位方法，其特征在于，所述存储器包括支撑层及器件层，自所述器件层侧初步定位所述失效点及再次定位所述失效点。
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