[发明专利]对检测管芯缺陷的相机的成像亮度进行校准的机制

说明书

本文公开了用于对检测管芯缺陷的相机的成像亮度进行校准的机制。根据本公开的一个方面，一种用于对检测管芯缺陷的相机的成像亮度进行校准的方法包括：获取所述相机拍摄的管芯图像；判断所述管芯图像与指定的参考管芯图像在亮度上是否匹配；以及响应于判定所述管芯图像与所述参考管芯图像在亮度上不匹配，调整与所述相机的成像亮度相关联的设置。

技术领域

本公开总体上涉及半导体制造过程，更具体地，涉及用于对检测管芯缺陷的相机的成像亮度进行校准的机制。

背景技术

在一般的半导体制造过程中，在晶圆制造完成之后，通过切割的方式从晶圆上分离出一个个管芯，以用于接下来的测试和封装。对于每个管芯来说，除了要对它们逐一进行功能和性能上的测试以便于对其进行分类等处理之外，还需要在一个或多个环节中检测管芯可能存在的缺陷，尽早发现缺陷并采取应对措施，以免对后续工序造成不利影响。对管芯缺陷的检测通常是通过对用相机拍摄的管芯的照片图像进行图像分析处理来完成的，但是在确保管芯缺陷检测的准确性和可靠性等方面，仍缺乏简单高效的手段。

发明内容

在发明内容部分中，以简化的形式介绍一些选出的概念，其将在下面的具体实施方式部分中被进一步描述。该发明内容部分并非是要标识出所要求保护的主题的任何关键特征或必要特征，也不是要被用于帮助确定所要求保护的主题的范围。

根据本公开的一个方面，提供了一种用于对检测管芯缺陷的相机的成像亮度进行校准的方法，所述方法包括：获取所述相机拍摄的管芯图像；判断所述管芯图像与指定的参考管芯图像在亮度上是否匹配；以及响应于判定所述管芯图像与所述参考管芯图像在亮度上不匹配，调整与所述相机的成像亮度相关联的设置。

根据本公开的另一个方面，提供了一种计算设备，所述计算设备包括：存储器，其用于存储指令；以及至少一个处理器，其耦合到所述存储器，其中，所述指令在由所述至少一个处理器执行时，使得所述至少一个处理器：获取所述相机拍摄的管芯图像；判断所述管芯图像与指定的参考管芯图像在亮度上是否匹配；以及响应于判定所述管芯图像与所述参考管芯图像在亮度上不匹配，调整与所述相机的成像亮度相关联的设置。

根据本公开的再一个方面，提供了一种用于对检测管芯缺陷的相机的成像亮度进行校准的装置，所述装置包括：用于获取所述相机拍摄的管芯图像的模块；用于判断所述管芯图像与指定的参考管芯图像在亮度上是否匹配的模块；以及用于响应于判定所述管芯图像与所述参考管芯图像在亮度上不匹配，调整与所述相机的成像亮度相关联的设置的模块。

根据本公开的又一个方面，提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有指令，所述指令在由至少一个处理器执行时，使得所述至少一个处理器执行本公开中描述的任一方法。

附图说明

在附图中对本公开的实现以示例的形式而非限制的形式进行了说明，附图中相似的附图标记表示相同或类似的部件，其中：

图1示出了根据本公开的一些实现的示例性系统的框图；

图2示出了根据本公开的一些实现的总体处理流程的示意图；

图3示出了根据本公开的一些实现的示例性方法的流程图；

图4示出了根据本公开的一些实现的示例性操作的流程图；

图5示出了根据本公开的一些实现的示例性装置的框图；以及

图6示出了根据本公开的一些实现的示例性计算设备的框图。

具体实施方式

在以下的说明书中，出于解释的目的，阐述了大量具体细节。然而，应当理解的是，本公开的实现无需这些具体细节就可以实施。在其它实例中，并未详细示出公知的电路、结构和技术，以免影响对说明书的理解。