[发明专利]蒸发源的加热装置和蒸镀设备

说明书

本申请属于蒸镀技术领域，涉及一种蒸发源的加热装置和蒸镀设备。该蒸发源的加热装置，包括加热件，所述加热件用于对蒸发源加热；所述加热件包括多个直线段加热件和多个圆弧段加热件，多个所述直线段加热件并排设置；相邻的两个所述直线段加热件通过所述圆弧段加热件相连。本申请将加热件呈“曲折”状态设置，使得加热件的加热更加均匀，加热效率更高，可以实现更大的加热功率和加热速率，提高了蒸发源内待蒸镀材料的加热效率和质量，提高蒸镀质量。

技术领域

本申请属于蒸镀技术领域，具体涉及一种蒸发源的加热装置和蒸镀设备。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)器件具有更轻薄、亮度高、省点、清晰度高等诸多优点，可广泛应用于手机、电脑等各种终端设备的显示领域或其他照明领域。当前，OLED器件常用的制作方法包括蒸镀、喷墨打印、热转印等多种方式。其中，蒸镀工艺是在一定的真空条件下加热蒸镀材料，使蒸镀材料熔化(或升华)成原子、分子或原子团组成的蒸汽，然后凝结在基板表面成膜，从而形成OLED器件的功能层。对于蒸镀工艺而言，用于蒸发材料的蒸发源是其核心，而对于蒸发源的加热也至关重要。

现有的蒸发源(蒸镀源)装置，一般包括盛放有机材料或金属材料的坩埚，对坩埚进行加热，实现坩埚内的待蒸镀材料的蒸镀。然而，现有的用于为坩埚内的待蒸镀材料加热的加热装置，仍存在一些不便与缺陷，亟待加以进一步改进。例如，现有的蒸发源的加热装置的加热效果差，降低了加热效率和质量，从而降低了坩埚的蒸镀质量。

由此可见，现有的蒸发源的加热装置仍有改善的空间。鉴于此，特提出本申请。

发明内容

本申请的目的就是为了克服上述现有技术存在的缺陷或至少部分地解决上述现有技术存在的技术问题而提供一种蒸发源的加热装置和蒸镀设备，能够改善加热效果，提高加热效率和质量，继而提高蒸镀质量和产品的良率。

上述目标和其他目标将通过独立权利要求中的特征来达成。进一步的实现方式在从属权利要求、说明书和附图中体现。

根据本申请的第一方面，提供一种蒸发源的加热装置，包括加热件，所述加热件用于对蒸发源加热；

所述加热件包括多个直线段加热件和多个圆弧段加热件，多个所述直线段加热件并排设置；

相邻的两个所述直线段加热件通过所述圆弧段加热件相连。

在一种可能的实现方式中，一个所述圆弧段加热件和与其相连的两个所述直线段加热件形成U型结构。

在一种可能的实现方式中，相邻的两个所述直线段加热件的首端分别通过一个所述圆弧段加热件相连；

其中一个所述直线段加热件的尾端与另一个与其相邻的所述直线段加热件的尾端分别通过另一个所述圆弧段加热件相连。

在一种可能的实现方式中，相邻两个所述直线段加热件的间距小于所述直线段加热件的长度；

相邻两个所述直线段加热件的间距大于所述直线段加热件的直径。

在一种可能的实现方式中，相邻两个所述直线段加热件的间距小于所述直线段加热件的长度的1/5；

相邻两个所述直线段加热件的间距大于所述直线段加热件的直径的2倍。

在一种可能的实现方式中，相邻两个所述直线段加热件的间距与所述圆弧段加热件的直径相等。

在一种可能的实现方式中，所述圆弧段加热件为半圆形。

在一种可能的实现方式中，多个所述直线段加热件的长度相等，且直径相等；

和/或，多个所述圆弧段加热件的直径相等。

在一种可能的实现方式中，多个所述直线段加热件等间距的平行设置。