[发明专利]一种化学机械抛光液及其使用方法在审
| 申请号： | 201911397746.X | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN113122139A | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 任晓明;贾长征;李守田;王志宏;王雨春 | 申请（专利权）人： | 安集微电子科技（上海）股份有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;H01L21/306 |
| 代理公司： | 北京大成律师事务所 11352 | 代理人： | 李佳铭;王芳 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新区华东路*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械抛光 及其 使用方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种化学机械抛光液，包括氧化铈、硫酸铈和pH调节剂。
2.如权利要求1所述的化学机械抛光液，其特征在于，
所述pH调节剂选自氢氧化钾、硫酸中的一种或多种。
3.如权利要求1所述的化学机械抛光液，其特征在于，
所述氧化铈的质量百分比浓度为0.1～1％。
4.如权利要求1所述的化学机械抛光液，其特征在于，
所述硫酸铈的质量百分比浓度为0.8～6.5％。
5.如权利要求4所述的化学机械抛光液，其特征在于，
所述硫酸铈的质量百分比浓度为0.8～2％。
6.如权利要求1所述的化学机械抛光液，其特征在于，
所述化学机械抛光液的pH值为0.6～1.3。
7.一种化学抛光液的使用方法，其特征在于，
如权利要求1～6中任一项所述化学机械抛光液用于无定形碳材料的化学抛光。
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