[发明专利]一种高导热SiC-AlN复合陶瓷的制备方法有效
申请号: | 201911398616.8 | 申请日: | 2019-12-30 |
公开(公告)号: | CN113121252B | 公开(公告)日: | 2022-06-07 |
发明(设计)人: | 向道平;刘伟然 | 申请(专利权)人: | 海南大学 |
主分类号: | C04B35/80 | 分类号: | C04B35/80;C04B35/565;C04B35/581;C04B35/622;C04B35/626;C04B35/64 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 刘猛 |
地址: | 570228 海南*** | 国省代码: | 海南;46 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 导热 sic aln 复合 陶瓷 制备 方法 | ||
1.一种SiC-AlN复合陶瓷的制备方法,包括以下步骤:
S1、提供含硅原料粉体,所述含硅原料粉体的组成物质包括粗颗粒碳化硅粉和细颗粒硅粉;
S2、将所述含硅原料粉体、氮化铝源和碳源进行低能球磨混料,得到均匀混合粉体;所述含硅原料粉体硅粉中的硅与所述碳源中的碳的摩尔比为1:1~1:2;所述氮化铝源占本步骤粉体总质量的1%~35%;所述氮化铝源为铝或氮化铝;
S3、将所述均匀混合粉体进行合成反应,得到SiC-AlN复合粉体;所述SiC-AlN复合粉体含有碳化硅晶须;所述合成反应的气氛在使用氮化铝为原料时为氩气,在使用铝为原料时选择氮气或氨气;
S4、将所述SiC-AlN复合粉体与烧结助剂混合后进行烧结,得到高导热SiC-AlN复合陶瓷。
2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述步骤S1中粗颗粒碳化硅粉的主要粒径范围为1.5~20μm,细颗粒硅粉的主要粒径范围为0.1~2μm。
3.根据权利要求1或2所述的制备方法,其特征在于,所述含硅原料粉体的物质组成为:SiC占10%~90%,Si占10%~90%。
4.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述碳源为炭黑、活性炭、石墨、葡萄糖、淀粉和三聚氰胺中的一种或多种;所述低能球磨混料的球料比为3:1~20:1,球磨时间为5~24小时。
5.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于,所述反应的温度为1300~1600℃,保温时间为0.5~4小时。
6.根据权利要求5所述的制备方法,其特征在于,所述反应后还包括将过量的碳源通过燃烧法去除,得到纯净的SiC-AlN复合粉体。
7.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述步骤S4中,所述烧结助剂为氧化钇、氧化镧和氧化锶的一种或多种;所述烧结助剂加入的质量为本步骤粉体总质量的1%~5%。
8.根据权利要求7所述的制备方法,其特征在于,所述步骤S4中烧结方式为真空烧结、低压烧结、热压烧结、放电等离子烧结或微波烧结的一种。
9.根据权利要求8所述的制备方法,其特征在于,所述步骤S4中烧结的温度为1700~2100℃。
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