[发明专利]电阻式微流体压力传感器

权利要求书

1.一种电阻式微流体压力传感器，其特征在于，包括：

流体层，在所述流体层上构造有被测流体引流微流道；

柔性薄膜层，设置在所述流体层的上端面，在所述柔性薄膜层上构造有开口朝下且向所述柔性薄膜层的上方凸起的微流体压力感应腔，所述被测流体引流微流道伸入到所述微流体压力感应腔的内部；

电极层，设置在所述柔性薄膜层的上端面，在所述电极层上构造有开口朝下且向所述电极层的上方凸起的压力感应液态电极腔，所述微流体压力感应腔设置在所述压力感应液态电极腔内，在所述微流体压力感应腔和所述压力感应液态电极腔之间构造有缓存腔室；在所述电极层上还构造有液态电极流道入口和液态电极流道出口，其中，所述液态电极流道入口和所述液态电极流道出口通过信号传导液态电极流道与所述缓存腔室相连通；以及

微小电阻信号测量结构，所述微小电阻信号测量结构通过导线分别与所述液态电极流道入口和所述液态电极流道出口连接；

在所述缓存腔室内存有液态导电物质并形成液态电极，所述液态电极的两端分别与所述微小电阻信号测量结构的相应端电连接。

2.根据权利要求1所述的电阻式微流体压力传感器，其特征在于，所述微流体压力感应腔设置在所述被测流体引流微流道的上方并扣合在所述被测流体引流微流道上。

3.根据权利要求1所述的电阻式微流体压力传感器，其特征在于，所述压力感应液态电极腔与所述微流体压力感应腔之间围成的所述缓存腔室的断面形状为三角形。

4.根据权利要求3所述的电阻式微流体压力传感器，其特征在于，所述液态导电物质包括汞、金属镓、镓基合金、离子溶液或离子液体。

5.根据权利要求1所述的电阻式微流体压力传感器，其特征在于，所述微流体压力感应腔和所述柔性薄膜层的制造材质均包括聚二甲基硅氧烷、聚对苯二甲酸乙二醇酯或硅橡胶。

6.根据权利要求1所述的电阻式微流体压力传感器，其特征在于，所述电阻式微流体压力传感器还包括微流控芯片；

所述被测流体引流微流道、所述微流体压力感应腔、所述压力感应液态电极腔、所述信号传导液态电极流道以及所述柔性薄膜层均集成在所述微流控芯片上。

7.根据权利要求1所述的电阻式微流体压力传感器，其特征在于，所述微流体压力感应腔与所述压力感应液态电极腔相适配。

8.根据权利要求7所述的电阻式微流体压力传感器，其特征在于，所述微流体压力感应腔与所述压力感应液态电极腔的形状均为矩形或Ω形。

9.一种电阻式微流体压力传感器，其特征在于，包括:

流体层，在所述流体层上构造有开口朝上的流体流道；

柔性薄膜层，设置在所述流体层的上端面，在所述柔性薄膜层上构造有开口朝下且向所述柔性薄膜层的上方凸起的微流体压力感应腔，所述微流体压力感应腔扣合在所述流体流道的上方并与所述流体流道构成腔体；

电极层，设置在所述柔性薄膜层的上端面，在所述电极层上构造有开口朝下且向所述电极层的上方凸起的压力感应液态电极腔，所述微流体压力感应腔设置在所述压力感应液态电极腔内，在所述微流体压力感应腔和所述压力感应液态电极腔之间构造有缓存腔室；在所述电极层上还构造有液态电极流道入口和液态电极流道出口，其中，所述液态电极流道入口和所述液态电极流道出口通过信号传导液态电极流道与所述缓存腔室相连通；以及

微小电阻信号测量结构，所述微小电阻信号测量结构通过导线分别与所述液态电极流道入口和所述液态电极流道出口连接；

在所述缓存腔室内存有液态导电物质并形成液态电极，所述液态电极的两端分别与所述微小电阻信号测量结构的相应端电连接。