[发明专利]蒸镀装置和蒸镀设备

说明书

本发明提供一种蒸镀装置和蒸镀设备。蒸镀装置包括彼此连接或者分开的蒸镀容器和防堵帽；防堵帽包括第一出口、第一侧壁、第一叶片、第一开口、第二叶片、第二开口以及加热丝；第一侧壁围绕第一出口；第一叶片以及第二叶片位于第一出口中，并且固定在第一侧壁上；第一叶片围绕第一开口；第二叶片围绕第二开口；第二开口小于第一开口；加热丝设置在第一侧壁、第一叶片以及第二叶片中。在本发明中，防堵帽避免蒸镀容器中蒸镀原料的融化、聚沸或坍塌导致蒸镀气体瞬间大幅波动。蒸镀气体在防堵帽上出射的速率稳定。因而，蒸镀装置实现稳定的蒸镀速率，进而实现优良的蒸镀效果。另外，防堵帽避免蒸镀气体在蒸镀容器的第二出口上发生冷凝造成堵塞。

【技术领域】

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种蒸镀装置和蒸镀设备。

【背景技术】

在显示技术中，有机发光显示面板(Organic Light Emitting Diode，OLED)以其轻薄、主动发光、快响应速度、广视角、色彩丰富及高亮度、低功耗、耐高低温等众多优点而被业界公认为是继液晶显示面板(Liquid Crystal Display，LCD)之后的第三代显示技术。

图1是相关技术中蒸镀装置的结构示意图。

如图1所示，在相关技术中，有机发光显示面板P的有机发光层采用蒸镀装置C蒸镀。蒸镀装置C包括出口、侧壁、底板以及内腔。蒸镀装置C在出口上发出气流。但是，蒸镀装置C的出口易于堵塞。蒸镀装置C的气流不稳定。

【发明内容】

为了解决上述技术问题，本发明提供一种蒸镀装置和蒸镀设备。

本发明的第一方面提供一种蒸镀装置，包括彼此连接或者分开的蒸镀容器和防堵帽；

所述防堵帽包括第一出口、第一侧壁、第一叶片、第一开口、第二叶片、第二开口以及加热丝；

所述第一侧壁围绕所述第一出口；

所述第一叶片以及所述第二叶片位于所述第一出口中，并且固定在所述第一侧壁上；

所述第一叶片围绕所述第一开口；

所述第二叶片围绕所述第二开口；

所述第二开口小于所述第一开口；

所述加热丝设置在所述第一侧壁、所述第一叶片以及所述第二叶片中。

本发明的第二方面，基于同一发明构思，提供一种蒸镀设备，包括所述蒸镀装置。