[发明专利]一种玻璃基离子交换表面光波导芯片连续生产的方法有效
| 申请号： | 201911400459.X | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN111025472B | 公开（公告）日： | 2020-10-09 |
| 发明（设计）人： | 郝寅雷;蒋建光;邓鑫宸;牛梦华;车录锋;余辉;李宇波;杨建义 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G02B6/134 | 分类号： | G02B6/134 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林超 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 玻璃 离子交换 表面光 波导 芯片 连续生产 方法 | ||
1.一种玻璃基离子交换表面光波导芯片连续生产的方法，其特征在于：放置隧道式高温炉(8)，隧道式高温炉(8)两端开设炉口分别作为进口端和出口端，且在隧道式高温炉(8)的进口端和出口端之间布置水平的传送带(10)；坩埚(3)放置在传送带(10)上并沿传送带(10)运输，传送带(10)的传送轮连接驱动结构(9)，传送带(10)的驱动结构(9)作用下，传送带(10)将坩埚(3)从隧道式高温炉(8)的进口端输送入隧道式高温炉(8)，经高温离子交换反应后输送至隧道式高温炉(8)的出口端。
2.根据权利要求1所述的一种玻璃基离子交换表面光波导芯片连续生产的方法，其特征在于：所述的坩埚(3)装有含掺杂离子的熔盐(2)，坩埚(3)底部通过支架(6)支撑放置有玻璃基片(4)，玻璃基片(4)上表面用微细加工工艺制作有带有镂空结构的掩膜(5)，支架(6)和玻璃基片(4)均完整浸没入含掺杂离子的熔盐(2)中，方法通过传送带(10)移动运输坩埚(3)将表面带有掩膜(5)的玻璃基片(4)浸没在坩埚(3)中含掺杂离子的熔盐(2)内进行离子交换制成表面光波导芯片。
3.根据权利要求2所述的一种玻璃基离子交换表面光波导芯片连续生产的方法，其特征在于：所述的玻璃基片(4)材料为硅酸盐玻璃、硼硅酸盐玻璃、磷酸盐玻璃或硼酸盐玻璃。
4.根据权利要求2所述的一种玻璃基离子交换表面光波导芯片连续生产的方法，其特征在于：所述的含掺杂离子的熔盐(2)所含的掺杂离子是：K+、Tl+、Ag+和Cs+。
5.根据权利要求1所述的一种玻璃基离子交换表面光波导芯片连续生产的方法，其特征在于：多个坩埚(3)间隔均布地放置在传送带(10)上并沿传送带(10)运输。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江大学，未经浙江大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201911400459.X/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
