[发明专利]一种单晶加料装置及加料方法

权利要求书

1.一种单晶加料装置，其特征在于：包括储料器、加料仓和气路调控系统，所述储料器密封设置于所述加料仓上，所述储料器和所述加料仓分别与所述气路调控系统连接，所述加料仓通过一金属波纹软管能够与单晶炉内的坩埚连通，所述单晶炉与所述金属波纹软管的连接处设置一插板阀。

2.根据权利要求1所述的单晶加料装置，其特征在于：所述加料仓底部设置一移动装置，所述移动装置为万向刹车轮或者带限位的滑轨。

3.根据权利要求1所述的单晶加料装置，其特征在于：所述储料器底部的出料口上设置一电动阀门。

4.根据权利要求1所述的单晶加料装置，其特征在于：所述加料仓内设置一震动加料槽，所述震动加料槽倾斜设置于所述储料器的出料口下方并能够延伸至所述坩埚内。

5.根据权利要求4所述的单晶加料装置，其特征在于：所述震动加料槽包括振动器、加料槽和弹性连接件，所述振动器设置于所述加料槽下方，所述加料槽通过弹性连接件设置于所述加料仓内。

6.根据权利要求1-5中任意一项所述的单晶加料装置的单晶加料方法，其特征在于：当单晶棒拉制完成后，需要在副室内冷却时，利用单晶棒冷却的时间，启动所述单晶加料装置一次性完成投料工作。

7.根据权利要求6所述的单晶加料方法，其特征在于：根据工艺要求一次性将指定重量的硅料放入到所述储料器内，加料完成后，启动气路调控系统对所述储料器和所述加料仓进行抽真空净化，再打开插板阀，通过移动装置移动并压缩金属波纹软管，使加料槽伸入至所述坩埚内，启动振动器同时打开电动阀门，让所述硅料进入到坩埚内；加料完成后，关闭电动阀门，撤回加料槽，关闭插板阀，坩埚内开始熔化、调温、熔接拉晶。

8.根据权利要求7所述的单晶加料方法，其特征在于：所述硅料的外形尺寸范围为30-50mm。