[发明专利]一种静电检测装置

权利要求书

1.一种静电检测装置，包括屏蔽装置和位于屏蔽装置中的振动电极，其特征是：

在屏蔽装置的前端，设置一个罩状的金属质前置静电感应电极，用于感应外界静电源信号；

所述的前置静电感应电极设置在振动电极的前方，将振动电极的至少一部分，罩在其内部的立体空间中，以增加静电检测装置的检测灵敏度；

所述的振动电极，针对前置静电感应电极上的感应静电荷进行检测；

所述的前置静电感应电极与屏蔽装置之间电绝缘地连接、固定在一起；

所述的静电检测装置，通过设置罩状的前置静电感应电极，来起到屏蔽外界阶跃信号的作用；

所述的静电检测装置，通过设置罩状的前置静电感应电极，使得振动电极处于完全屏蔽状态，以增加静电检测装置的检测精确度；

所述的静电检测装置，通过设置三维结构的罩状前置静电感应电极，来实现三维曲面上的静电荷检测。

2.按照权利要求1所述的静电检测装置，其特征是所述的前置静电感应电极设置在振动电极前端之金属质静电信号接收电极的前方；将振动电极或振动电极的金属质静电信号接收电极，完全罩在前置静电感应电极内部的立体空间中。

3.按照权利要求2所述的静电检测装置，其特征是所述的前置静电感应电极与金属质静电信号接收电极的形状、结构相匹配，且两者的中心点重合，或者，两者之间的间距为等间距的平行状态，以使前置静电感应电极与金属质静电信号接收电极之间形成对称结构的空间电场。

4.按照权利要求1所述的静电检测装置，其特征是在所述前置静电感应电极与屏蔽装置之间，设置有绝缘固定件，以实现前置静电感应电极与屏蔽装置之间的电绝缘。

5.按照权利要求4所述的静电检测装置，其特征是所述的绝缘固定件将前置静电感应电极与屏蔽装置固接为一体。

6.按照权利要求4所述的静电检测装置，其特征是所述的绝缘固定件将前置静电感应电极与屏蔽装置无缝对接地固接为一体，以保证前置静电感应电极与屏蔽装置之间的密封性。

7.按照权利要求1所述的静电检测装置，其特征是所述的前置静电感应电极的前端面为球面、抛物曲面、圆弧曲面或平面。

8.按照权利要求1所述的静电检测装置，其特征是所述的前置静电感应电极的前端面为球面、抛物曲面、圆弧曲面或平面组合形成的组合曲面。

9.按照权利要求1所述的静电检测装置，其特征是所述前置静电感应电极后端开口处的横截面形状，与绝缘固定件前端开口处的横截面形状相匹配；所述绝缘固定件后端开口处的横截面形状，与屏蔽装置前端开口处的横截面形状相匹配。

10.按照权利要求1所述的静电检测装置，其特征是在所述的前置静电感应电极与振动电极前端的金属质静电信号接收电极之间，设置有电连接结构，以增强静电信号接收电极对感应静电荷的探测强度。