[发明专利]一种表贴集成电路切筋机有效
申请号: | 201911401723.1 | 申请日: | 2019-12-31 |
公开(公告)号: | CN111211070B | 公开(公告)日: | 2023-06-06 |
发明(设计)人: | 周恒;李阳;谌帅业;蔡景洋;聂平健;周东;商登辉;房迪;刘思奇;刘金丽;李洪秀;张超超;李跃光 | 申请(专利权)人: | 贵州振华风光半导体股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 贵阳中工知识产权代理事务所 52106 | 代理人: | 刘安宁 |
地址: | 550018 贵*** | 国省代码: | 贵州;52 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 集成电路 切筋机 | ||
1.一种表贴集成电路切筋机,其特征在于该表贴集成电路切筋机,由机械部分、探测部分、电控部分组成;机械部分包括静切刀座、产品定位槽、静切刀、静切刀压块、动切刀座、动切刀、架构基板、支柱、气缸、电磁阀;探测部分包括光纤探头、光纤聚焦镜、光纤放大器;电控部分包括PLC编程控制器及其操作按钮;
上述静切刀、静切刀压块及产品定位槽安装在静切刀座上,在静切刀座的静切刀槽位置安装有左右两边的静切刀;左右两边的静切刀压块覆盖于静切刀上;
上述动切刀安装在动切刀座上,动切刀座固定在气缸上,静切刀座和气缸均安装在水平放置的基板上;
上述动切刀水平放置,在水方向运动;
上述产品定位槽下部有一挡块,只有边筋废料能够避开此挡块,而表贴电路的腔体部分被此挡块挡住不能下滑;
上述产品定位槽设计有扩口;在静切刀座放置有光纤探头及光纤聚焦镜;
上述光纤聚焦镜用螺纹套在光纤探头上;
上述光纤探头通过光纤连接光纤放大器;
上述光纤放大器信号输出端用电缆连接到PLC编程控制器的输入端; 上述PLC编程控制器的输出端连接机械部分的电磁阀;
上述电磁阀通断电控制压缩气体通断,压缩气体通断推动气缸往复运动,气缸往复运动带动切刀对表贴电路进行边筋切除和废料分离,反之,当表贴电路产品不存在时,则机械部分不动作。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造