[发明专利]一种用于海洋多维成像系统中的分光镜、其制备方法和设计方法

权利要求书

1.一种用于海洋多维成像系统中的分光镜，其特征在于，所述分光镜包括基片、第一光学膜系和第二光学膜系；

其中，所述第一光学膜系沉积在所述基片入射光一侧，

且所述第一光学膜系的基本结构为Sub|a(0.8H(LH)³L0.8H)^pb(0.8H(LH)³L0.8H)^pc(0.8H(LH)³L0.8H)^pd(0.8H(LH)³L0.8H)^p|Air；

所述第二光学膜系沉积在所述基片出射光一侧；

且所述第二光学膜系的基本结构为Sub|6.24H8.75L0.34H9.23L|Air；

其中，H表示由高折射率材料制成的膜层，L表示由低折射率材料制成的膜层，Sub表示基片，Air表示空气，a、b、c、d表示相对于中心波长的系数，a、b、c、d选自0.5-2之间的数，且a＞b＞c＞d，p为重叠周期数。

2.根据权利要求1所述的用于海洋多维成像系统中的分光镜，其特征在于，H表示由M-ZnS制成的膜层，L表示由YbF³制成的膜层，所述p选自3、4、5。

3.根据权利要求1所述的用于海洋多维成像系统中的分光镜，其特征在于，所述第二光学膜系中L层单层厚度不超过1000nm。

4.根据权利要求1～3任一项所述的用于海洋多维成像系统中的分光镜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1、将基片擦拭干净后，在真空度为2.0-3.0×10^-2Pa，温度为100-150℃的条件下，进行烘烤加热，恒温时间30-50min；

S2、镀前开启离子轰击清洗基片5-13min，在基片入射光一侧，膜层交替沉积，形成第一光学膜系，单侧镀制结束后，实行原位气氛退火，得到前表面膜层；

S3、在基片出射光一侧，膜层交替沉积，制备第二光学膜系，镀制结束后，得到分光镜。

5.根据权利要求4所述的用于海洋多维成像系统中的分光镜的制备方法，其特征在于，在步骤S2中，所述原位气氛退火的工艺为：向镀膜机真空室内充入一定量H₂S，维持真空室内压强为1-5Pa，同时将镀制温度由100-150℃升至270-330℃，保温40-90min随后自然降温至室温。

6.根据权利要求4所述的用于海洋多维成像系统中的分光镜的制备方法，其特征在于，在步骤S2和步骤S3中，所述膜层交替沉积的高折射率材料采用电阻蒸发方式沉积，低折射率材料采用电子束热蒸方式沉积。

7.根据权利要求6所述的用于海洋多维成像系统中的分光镜的制备方法，其特征在于，所述高折射材料在真空度为0.5-2.0×10^-2Pa，温度为100-150℃，沉积速率为0.8-1.2nm·s^-1的条件下进行沉积。

8.根据权利要求6所述的用于海洋多维成像系统中的分光镜的制备方法，其特征在于，所述低折射率材料在真空度为0.5-2.0×10^-2Pa，温度为100-150℃，沉积速率为0.6-1.0nm·s^-1的条件下进行沉积。