[发明专利]一种用于清洗晶圆清洗刷的水基清洗液

权利要求书

1.一种用于清洗晶圆清洗刷的水基清洗液，其特征在于，包括碱、去离子水、阴离子表面活性剂、以及非离子表面活性剂。

2.如权利要求1所述的用于清洗晶圆清洗刷的水基清洗液，其特征在于，所述碱为有机碱和/或无机碱。

3.如权利要求2所述的用于清洗晶圆清洗刷的水基清洗液，其特征在于，所述有机碱为三甲基苯基氢氧化铵和/或三乙胺。

4.如权利要求2所述的用于清洗晶圆清洗刷的水基清洗液，其特征在于，所述无机碱是氨水和/或碳酸铵。

5.如权利要求1所述的用于清洗晶圆清洗刷的水基清洗液，其特征在于，所述碱的质量浓度是0.1-3％。

6.如权利要求5所述的用于清洗晶圆清洗刷的水基清洗液，其特征在于，所述碱的质量浓度是1-2％。

7.如权利要求1所述的用于清洗晶圆清洗刷的水基清洗液，其特征在于，所述阴离子表面活性剂为磺酸盐和/或硫酸酯盐。

8.如权利要求7所述的用于清洗晶圆清洗刷的水基清洗液，其特征在于，所述磺酸盐为十二烷基苯磺酸钠、α-烯烃磺酸钠、丁二酸二异辛酯磺酸钠、三苯乙烯苯酚醚磺酸钠中的一种或多种。

9.如权利要求7所述的用于清洗晶圆清洗刷的水基清洗液，其特征在于，所述硫酸酯盐为硫酸单(2-乙基己基)酯钠盐、十二烷基硫酸铵、油酸正丁酯硫酸酯钠盐中的一种或多种。

10.如权利要求1所述的用于清洗晶圆清洗刷的水基清洗液，其特征在于，所述阴离子表面活性剂的质量百分数是0.001-3％。

11.如权利要求10所述的用于清洗晶圆清洗刷的水基清洗液，其特征在于，所述阴离子表面活性剂的质量浓度是0.005-0.5％。

12.如权利要求1所述的用于清洗晶圆清洗刷的水基清洗液，其特征在于，所述非离子表面活性剂为烷基醇/酚聚氧乙烯醚和/或聚乙二醇。

13.如权利要求12所述的用于清洗晶圆清洗刷的水基清洗液，其特征在于，其中，所述烷基醇/酚聚氧乙烯醚的分子式为RO(CH₂CH₂O)_nH，其中，RO-为C10～C18的伯醇或仲醇或烷基酚的缩合产物，n为3、5、7或9。

14.如权利要求13所述的用于清洗晶圆清洗刷的水基清洗液，其特征在于，所述烷基醇/酚聚氧乙烯醚为十二烷基酚聚氧乙烯醚、壬基酚聚氧乙烯醚、辛基酚聚氧乙烯醚、二壬基酚聚氧乙烯醚、脂肪醇聚氧乙烯醚AEO-3、脂肪醇聚氧乙烯醚AEO-5、脂肪醇聚氧乙烯醚AEO-7、脂肪醇聚氧乙烯醚AEO-9中的一种或多种。

15.如权利要求12所述的用于清洗晶圆清洗刷的水基清洗液，其特征在于，所述聚乙二醇的分子式为HOCH₂(CH₂OCH₂)_nCH₂OH，其中，n大于4，其中，所述聚乙二醇的平均分子量为200～7000。

16.如权利要求15所述的用于清洗晶圆清洗刷的水基清洗液，其特征在于，所述聚乙二醇的平均分子量为2000。

17.如权利要求1所述的用于清洗晶圆清洗刷的水基清洗液，其特征在于，所述非离子表面活性剂的质量浓度是0.001-3％。

18.如权利要求1所述的用于清洗晶圆清洗刷的水基清洗液，其特征在于，所述非离子表面活性剂的质量浓度是0.005-0.1％。

19.如权利要求1-18中任一所述的用于清洗晶圆清洗刷的水基清洗液，其特征在于，所述晶圆清洗刷为聚乙烯醇清洗刷。