[发明专利]一种检测平板玻璃板工作面微粒子的方法

说明书

一种检测平板玻璃板工作面微粒子的方法，包括以下步骤：步骤1：将平板玻璃板工作面朝上放置在检测台传输机上；步骤2：检测台传输机移动平板玻璃板朝线扫面相机方向传输；步骤3：光源发出的激光照射在平板玻璃板上，平板玻璃板上的工作面微粒子对激光发生漫反射，形成漫反射光，线扫面相机接受漫反射光，进行暗场成像，检测工作面微粒子的数量和大小；所述激光的入射角α不小于88°。所述步骤3中，线扫面相机接受中心线反射角θ范围为45°～48°的漫反射光。所述步骤3中，采用集光反射镜对漫反射光进行焦集，线扫面相机接受焦集后的漫反射光。该方法检测精度高，速度快，不受平板玻璃板厚度、翘曲和传输倾斜影响。

技术领域

本发明涉及平板玻璃检测技术，具体为一种检测平板玻璃板工作面微粒子的方法。

背景技术

平板玻璃板常用于平板显示领域的基板，如液晶玻璃基板、触摸屏玻璃基板及有机发光二极管玻璃基板。基板玻璃工作面(正面)将进行涂布、光刻以及其他工艺，工作面微粒子可能造成破膜或断路，而平板玻璃板非工作面(内部和背面)微粒子相对影响较小，且背面微粒子被误测为工作面微粒子就会降低产品的产量，工作面微粒子被误测背面微粒子造成产品质量漏检。

平板玻璃板具有透明和超薄特点，常用平板玻璃板厚度在0.2mm～0.7mm，这就给平板玻璃板工作面微粒子带来技术性难题。随着平板显示推广普及，尤其是平板电脑和智能手机大量应用，平板玻璃生产线的数量扩张加速，平板玻璃板工作面微粒子检测技术要求相应提高。

发明内容

针对现有技术中存在的问题，本发明提供一种检测平板玻璃板工作面微粒子的方法，该方法检测精度高，速度快，不受平板玻璃板厚度、翘曲和传输倾斜影响。

本发明是通过以下技术方案来实现：

一种检测平板玻璃板工作面微粒子的方法，包括以下步骤：

步骤1：将平板玻璃板工作面朝上放置在检测台传输机上；

步骤2：检测台传输机移动平板玻璃板朝线扫面相机方向传输；

步骤3：光源发出的激光照射在平板玻璃板上，平板玻璃板上的工作面微粒子对激光发生漫反射，形成漫反射光，线扫面相机接受漫反射光，进行暗场成像，检测工作面微粒子的数量和大小；

所述激光的入射角α不小于88°。

优选的，所述光源采用光纤线激光光源，激光为波长范围533～733nm，功率35～55mw的线偏振氦氖激光。

优选的，所述线扫面相机采用8K 256TDI COMS结构，孔径100mm以上，行像素不小于10微米。

优选的，所述步骤3中，线扫面相机接受中心线反射角θ范围为45°～48°的漫反射光。

优选的，所述步骤3中，采用集光反射镜对漫反射光进行焦集，线扫面相机接受焦集后的漫反射光，所述集光反射镜为微凹面激光镀膜反射镜，采用高精度熔融石英镜坯制成，镜面设置反射激光的镀膜。

优选的，所述线扫面相机的全部视场叠加后的视场范围大于平板玻璃板的幅宽。

优选的，所述平板玻璃板通过气垫杆支撑，在两段气垫杆过渡空隙安装光源和线扫面相机。

优选的，所述线扫面相机对应一个光源，光源和线扫面相机固定在封闭暗箱内。

优选的，所述平板玻璃板与线扫面相机之间高度差不小于150mm。

优选的，所述步骤2中平板玻璃板传输速度不大于600mm/s。

与现有技术相比，本发明具有以下有益的技术效果：